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江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题!
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god1999
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江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题!
我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品,就是一层硅一层钛,总层数大约是60层,但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等,求大侠指教。
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