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god1999金虫 (小有名气)
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[求助]
江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！
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| 我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品，就是一层硅一层钛，总层数大约是60层，但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等，求大侠指教。 |
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yaoyao145
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11楼2013-02-27 22:33:10
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5楼2013-02-26 18:48:51
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