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god1999金虫 (小有名气)
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江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！
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| 我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品，就是一层硅一层钛，总层数大约是60层，但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等，求大侠指教。 |
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dongnengfa
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自己顶一个 2楼2013-02-26 15:58:14
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4楼2013-02-26 18:30:57
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