24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1707  |  回复: 17
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

god1999

金虫 (小有名气)

[求助] 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题!

我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品,就是一层硅一层钛,总层数大约是60层,但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等,求大侠指教。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

新手,求帮助
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

god1999

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by wangya705 at 2013-02-26 18:48:51
SEM可以测量,如果膜厚再大的话光学显微镜也是可以测量的。不过精确度可能有点偏差,将试样打磨之后更易于测量。

SEM一般很难看到50nm的切面,我试过,结果看不出明暗相间的条纹,只是模糊的一片,我用的是载玻片或者厚度为15微米的铜箔,怎么进行打磨。求指教。
ps:我曾用过环氧树脂进行固化,但是环氧树脂将我镀的膜给泡掉了,有更好的方法吗?
新手,求帮助
6楼2013-02-27 12:27:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答

god1999

金虫 (小有名气)

自己顶一个
新手,求帮助
2楼2013-02-26 15:58:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

avad

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与,欢迎常来! 2013-02-26 22:05:01
一般是TEM。
这个要准确测量还是比较难的。
不如归去
4楼2013-02-26 18:30:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangya705

禁虫 (小有名气)


感谢参与,应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与,欢迎常来! 2013-02-26 22:04:22
本帖内容被屏蔽

5楼2013-02-26 18:48:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿沪9,生物学326求调剂 +7 刘墨墨 2026-04-15 7/350 2026-04-15 18:51 by 浮云166
[考研] 297,工科调剂?河南农业大学本科 +11 河南农业大学-能 2026-04-14 11/550 2026-04-15 15:03 by 学员JpLReM
[考研] 297工科调剂? +14 河南农业大学-能 2026-04-13 15/750 2026-04-15 13:25 by 黑科技矿业
[考研] 279学硕食品专业求调剂院校 20+6 孤独的狼爱吃羊 2026-04-12 28/1400 2026-04-14 15:44 by zs92450
[考研] 一志愿双非085400电子信息344 求调剂,对材料和化学方向也感兴趣 +12 无情的小羊 2026-04-09 13/650 2026-04-13 14:17 by 张zhihao
[考研] 290求调剂 +18 柯淮然 2026-04-12 20/1000 2026-04-13 12:56 by cyh—315
[教师之家] 山东双非院校考核超级无底线,领导幸灾乐祸,教师遭殃恐 +3 qut2026 2026-04-11 7/350 2026-04-12 20:24 by qut2026
[考研] 2本,初试303,0860求调剂 +6 floriea 2026-04-12 8/400 2026-04-12 18:13 by zhouxiaoyu
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[考研] 0859,337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 283求调剂 +22 那个噜子 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 10:41 by 逆水乘风
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH(等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 调剂 +19 小张ZA 2026-04-10 20/1000 2026-04-10 22:08 by 猪会飞
[考研] 22408 366分,本科211,一志愿西工大 +4 Rubt 2026-04-09 4/200 2026-04-10 19:51 by chemisry
[考研] 求调剂 +5 不会飞的鱼@ 2026-04-10 5/250 2026-04-10 19:07 by chemisry
[考研] 一志愿中科大070300化学,314分求调剂 +12 wakeluofu 2026-04-09 12/600 2026-04-10 09:57 by liuhuiying09
[考研] 已调剂 +18 柴郡猫_ 2026-04-09 19/950 2026-04-09 22:10 by 柴郡猫_
[考研] 材料专硕初试分332一志愿西北工业大学, +12 故人?? 2026-04-09 12/600 2026-04-09 18:34 by Ccclqqq
[考研] 086004 求调剂 309 +7 Yin DY 2026-04-08 7/350 2026-04-09 13:59 by Delta2012
[考研] 086000生物与医药调剂 +7 awwwwwooooo 2026-04-09 7/350 2026-04-09 13:31 by 北极159263
信息提示
请填处理意见