应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！
51/1返回列表
查看: 1433  |  回复: 17
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

god1999

金虫 (小有名气)

[求助] 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！

我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品，就是一层硅一层钛，总层数大约是60层，但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等，求大侠指教。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
新手，求帮助
1楼2013-02-26 15:54:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangya705 at 2013-02-26 18:48:51
SEM可以测量，如果膜厚再大的话光学显微镜也是可以测量的。不过精确度可能有点偏差，将试样打磨之后更易于测量。

SEM一般很难看到50nm的切面，我试过，结果看不出明暗相间的条纹，只是模糊的一片，我用的是载玻片或者厚度为15微米的铜箔，怎么进行打磨。求指教。
ps:我曾用过环氧树脂进行固化，但是环氧树脂将我镀的膜给泡掉了，有更好的方法吗？
赞一下 回复此楼
新手，求帮助
6楼2013-02-27 12:27:25
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答

god1999

金虫 (小有名气)
自己顶一个
回复此楼
新手，求帮助
2楼2013-02-26 15:58:14
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

avad

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与，欢迎常来！ 2013-02-26 22:05:01
一般是TEM。
这个要准确测量还是比较难的。
赞一下 回复此楼
不如归去
4楼2013-02-26 18:30:57
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangya705

禁虫 (小有名气)
★
感谢参与，应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与，欢迎常来！ 2013-02-26 22:04:22
本帖内容被屏蔽
5楼2013-02-26 18:48:51
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭