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luxiya

新虫 (初入文坛)

[求助] 求组磁控溅射的大神 已有3人参与

本人刚刚学会磁控溅射,现在遇到了困难,想请教大神。我的问题入下:溅射功率为120w,溅射气压为0.4pa,溅射Sm靶时,发现其辉光是发散的,但结果还是溅射上了。心中有疑问,辉光为什么是发散了?这样对溅射结果有什么影响?
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材料科学
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你溅射的是什么材料呀?
4楼2015-05-06 09:04:51
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查看全部 6 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
luxiya: 金币+5 2015-04-23 19:12:32
发散不一定不对,有可能是非平衡磁场造成的,楼主可以发个图片看看

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-04-22 19:11:15
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lwei_txj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你溅射的材料容易磁化,而且可能会有放射性。
辉光发散可能和靶材磁化有关,最好测试一下沉积的物质成分,才能科学判断。
3楼2015-04-29 10:41:40
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luxiya

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-05-06 09:04:51
你溅射的是什么材料呀?

Sm
5楼2015-05-06 09:14:22
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