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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射旋转靶消耗不均匀
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射旋转靶消耗不均匀 已有5人参与

孪生磁控溅射靶在长久使用中发现某一点消耗比较快，这事为什么呢？

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1楼 2015-03-27 20:42:55
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by a123266171 at 2015-03-29 00:09:07
应该是靶材的问题，靶材的纯度不对，或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。

孪生靶材同时使用，但是这种情况发生在对角线上，所以貌似跟靶材致密度关系不大吧，新靶刚使用没有特地选择某一边来装，都是随便选一头来装，但是换过几套靶来试，结果都是一样，所以这种可能性应该不大。

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3楼2015-03-29 00:39:30
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你这个问题确实比较奇怪，不过应该和靶材没什么关系，主要是与设备有关。某一点被离子轰击消耗的快，也就是说这个点上，等离子密度可能会较大一点，但是也不是非常大，非常大的话离子也会相互碰撞抑制轰击的效率。事实上，这样子看下来的话，与磁场的分布关系应该比较大，不同靶位之间也会有磁场的影响，不知道在不同靶位上，某一点的消耗量是不是也不一样，如果是这样的话，应该可以肯定是磁场的影响。另外，建议你可以改变下溅射条件看看情况如何。
ps：我也搞溅射和靶材，欢迎一起探讨共同进步！（看样子你是公司里面的，不是学生啊）
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用绳命来搞科研
8楼2015-03-30 09:37:57
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普通回帖

a123266171

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是靶材的问题，靶材的纯度不对，或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。
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2楼2015-03-29 00:09:07
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
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旋转靶 也会出现消耗不匀的现象？

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4楼2015-03-29 11:31:44
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-03-29 11:31:44
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象？

是的，有出现这种现象，所以很不解。

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5楼2015-03-29 12:57:02
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
也有可能是磁场的问题，导致某一部分的靶材部位受到更多的离子轰击。

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6楼2015-03-29 17:10:00
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2015-03-29 17:10:00
也有可能是磁场的问题，导致某一部分的靶材部位受到更多的离子轰击。

我也考虑过这个问题但是其他的靶位也出现这种问题，不至于安装设备时所有靶位都出问题吧，最奇怪的一点，同一靶位两根靶材的位置出现在对角线的位置，考虑过水冷却的问题，但是解释不通

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7楼2015-03-29 23:30:38
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
对了，不知道这个点上对应的薄膜区域的薄膜质量怎么样
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用绳命来搞科研
9楼2015-03-30 09:53:07
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-03-30 09:37:57
你这个问题确实比较奇怪，不过应该和靶材没什么关系，主要是与设备有关。某一点被离子轰击消耗的快，也就是说这个点上，等离子密度可能会较大一点，但是也不是非常大，非常大的话离子也会相互碰撞抑制轰击的效率。事 ...

您好，感谢你的回复，对于磁场的影响，之前怀疑过，但是不同靶位上的同一点的消耗规律是一样的，消耗量因为工艺条件的关系，不好判定，而且采用的是连续式的传输，所以整个薄膜区域是不一定的，通过一定的检测比如颜色之类的检测，并未检测出什么问题，不知道有没有什么方法可以测试磁场分布之类的。
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10楼2015-03-31 09:23:59
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