24小时热门版块排行榜    

查看: 1884  |  回复: 11

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射旋转靶消耗不均匀 已有5人参与

孪生磁控溅射靶在长久使用中发现某一点消耗比较快,这事为什么呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by a123266171 at 2015-03-29 00:09:07
应该是靶材的问题,靶材的纯度不对,或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。

孪生靶材同时使用,但是这种情况发生在对角线上,所以貌似跟靶材致密度关系不大吧,新靶刚使用没有特地选择某一边来装,都是随便选一头来装,但是换过几套靶来试,结果都是一样,所以这种可能性应该不大。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-03-29 00:39:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你这个问题确实比较奇怪,不过应该和靶材没什么关系,主要是与设备有关。某一点被离子轰击消耗的快,也就是说这个点上,等离子密度可能会较大一点,但是也不是非常大,非常大的话离子也会相互碰撞抑制轰击的效率。事实上,这样子看下来的话,与磁场的分布关系应该比较大,不同靶位之间也会有磁场的影响,不知道在不同靶位上,某一点的消耗量是不是也不一样,如果是这样的话,应该可以肯定是磁场的影响。另外,建议你可以改变下溅射条件看看情况如何。
ps:我也搞溅射和靶材,欢迎一起探讨共同进步!(看样子你是公司里面的,不是学生啊)
用绳命来搞科研
8楼2015-03-30 09:37:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

a123266171

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是靶材的问题,靶材的纯度不对,或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。
2楼2015-03-29 00:09:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象?

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-03-29 11:31:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-03-29 11:31:44
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象?

是的,有出现这种现象,所以很不解。

[ 发自小木虫客户端 ]
5楼2015-03-29 12:57:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
也有可能是磁场的问题,导致某一部分的靶材部位受到更多的离子轰击。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2015-03-29 17:10:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2015-03-29 17:10:00
也有可能是磁场的问题,导致某一部分的靶材部位受到更多的离子轰击。

我也考虑过这个问题但是其他的靶位也出现这种问题,不至于安装设备时所有靶位都出问题吧,最奇怪的一点,同一靶位两根靶材的位置出现在对角线的位置,考虑过水冷却的问题,但是解释不通

[ 发自小木虫客户端 ]
7楼2015-03-29 23:30:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
对了,不知道这个点上对应的薄膜区域的薄膜质量怎么样
用绳命来搞科研
9楼2015-03-30 09:53:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-03-30 09:37:57
你这个问题确实比较奇怪,不过应该和靶材没什么关系,主要是与设备有关。某一点被离子轰击消耗的快,也就是说这个点上,等离子密度可能会较大一点,但是也不是非常大,非常大的话离子也会相互碰撞抑制轰击的效率。事 ...

您好,感谢你的回复,对于磁场的影响,之前怀疑过,但是不同靶位上的同一点的消耗规律是一样的,消耗量因为工艺条件的关系,不好判定,而且采用的是连续式的传输,所以整个薄膜区域是不一定的,通过一定的检测比如颜色之类的检测,并未检测出什么问题,不知道有没有什么方法可以测试磁场分布之类的。
10楼2015-03-31 09:23:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 骑猪追锅锅 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +9 Ymlll 2026-03-18 12/600 2026-03-20 00:01 by 23Postgrad
[考研] 286分人工智能专业请求调剂愿意跨考! +3 lemonzzn 2026-03-17 3/150 2026-03-19 23:58 by 23Postgrad
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +14 enenenhui 2026-03-13 15/750 2026-03-19 21:53 by allen-yin
[考研] 一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂 +3 葵梓卫队 2026-03-18 5/250 2026-03-19 19:35 by 给你你注意休息
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +17 不知道叫什么! 2026-03-15 19/950 2026-03-19 15:06 by 尽舜尧1
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +3 Ncdx123456 2026-03-19 3/150 2026-03-19 13:18 by houyaoxu
[考研] 材料080500调剂求收留 +4 一颗meteor 2026-03-13 4/200 2026-03-19 10:32 by 30660438
[考研] 材料工程专硕调剂 +5 204818@lcx 2026-03-17 6/300 2026-03-18 22:55 by 204818@lcx
[考研] 0854可跨调剂,一作一项核心论文五项专利,省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[考博] 26申博 +4 八6八68 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] 304求调剂 +5 素年祭语 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:00 by 我的船我的海
[考研] 326求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-15 3/150 2026-03-16 07:33 by Iveryant
[考研] 求老师收留调剂 +4 jiang姜66 2026-03-14 5/250 2026-03-15 20:11 by Winj1e
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 304求调剂 +7 7712b 2026-03-13 7/350 2026-03-13 21:42 by peike
信息提示
请填处理意见