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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射旋转靶消耗不均匀 已有5人参与

孪生磁控溅射靶在长久使用中发现某一点消耗比较快,这事为什么呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-03-30 09:37:57
你这个问题确实比较奇怪,不过应该和靶材没什么关系,主要是与设备有关。某一点被离子轰击消耗的快,也就是说这个点上,等离子密度可能会较大一点,但是也不是非常大,非常大的话离子也会相互碰撞抑制轰击的效率。事 ...

您好,感谢你的回复,对于磁场的影响,之前怀疑过,但是不同靶位上的同一点的消耗规律是一样的,消耗量因为工艺条件的关系,不好判定,而且采用的是连续式的传输,所以整个薄膜区域是不一定的,通过一定的检测比如颜色之类的检测,并未检测出什么问题,不知道有没有什么方法可以测试磁场分布之类的。
10楼2015-03-31 09:23:59
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a123266171

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是靶材的问题,靶材的纯度不对,或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。
2楼2015-03-29 00:09:07
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骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by a123266171 at 2015-03-29 00:09:07
应该是靶材的问题,靶材的纯度不对,或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。

孪生靶材同时使用,但是这种情况发生在对角线上,所以貌似跟靶材致密度关系不大吧,新靶刚使用没有特地选择某一边来装,都是随便选一头来装,但是换过几套靶来试,结果都是一样,所以这种可能性应该不大。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-03-29 00:39:30
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象?

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-03-29 11:31:44
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