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[交流] 磁控溅射旋转靶消耗不均匀已有5人参与

孪生磁控溅射靶在长久使用中发现某一点消耗比较快，这事为什么呢？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼 2015-03-27 20:42:55

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引用回帖:

8楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-03-30 09:37:57
你这个问题确实比较奇怪，不过应该和靶材没什么关系，主要是与设备有关。某一点被离子轰击消耗的快，也就是说这个点上，等离子密度可能会较大一点，但是也不是非常大，非常大的话离子也会相互碰撞抑制轰击的效率。事 ...

您好，感谢你的回复，对于磁场的影响，之前怀疑过，但是不同靶位上的同一点的消耗规律是一样的，消耗量因为工艺条件的关系，不好判定，而且采用的是连续式的传输，所以整个薄膜区域是不一定的，通过一定的检测比如颜色之类的检测，并未检测出什么问题，不知道有没有什么方法可以测试磁场分布之类的。