24小时热门版块排行榜    

查看: 1888  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射旋转靶消耗不均匀 已有5人参与

孪生磁控溅射靶在长久使用中发现某一点消耗比较快,这事为什么呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
对了,不知道这个点上对应的薄膜区域的薄膜质量怎么样
用绳命来搞科研
9楼2015-03-30 09:53:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

a123266171

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是靶材的问题,靶材的纯度不对,或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。
2楼2015-03-29 00:09:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

骑猪追锅锅

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by a123266171 at 2015-03-29 00:09:07
应该是靶材的问题,靶材的纯度不对,或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。

孪生靶材同时使用,但是这种情况发生在对角线上,所以貌似跟靶材致密度关系不大吧,新靶刚使用没有特地选择某一边来装,都是随便选一头来装,但是换过几套靶来试,结果都是一样,所以这种可能性应该不大。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-03-29 00:39:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象?

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-03-29 11:31:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +7 Doleres 2026-03-19 7/350 2026-03-20 10:39 by EBSD
[考研] 081700化工学硕调剂 +3 【1】 2026-03-16 3/150 2026-03-19 23:40 by edmund7
[考研] 266求调剂 +5 阳阳哇塞 2026-03-14 10/500 2026-03-19 15:08 by 阳阳哇塞
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业(081702)315分求调剂 +11 yangfz 2026-03-17 11/550 2026-03-19 15:06 by houyaoxu
[考研] 286求调剂 +6 lemonzzn 2026-03-16 10/500 2026-03-19 14:31 by lemonzzn
[考研] 一志愿福大288有机化学,求调剂 +3 小木虫200408204 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 287求调剂 +3 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-19 12:32 by peike
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +10 Liwangman 2026-03-15 10/500 2026-03-19 10:25 by 无际的草原
[考研] 0703化学 305求调剂 +4 FY_yy 2026-03-14 4/200 2026-03-19 05:54 by anny19840123
[考研] 297求调剂 +8 戏精丹丹丹 2026-03-17 8/400 2026-03-18 14:30 by laoshidan
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +4 材化逐梦人 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:22 by 007_lilei
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +7 ZY-05 2026-03-13 8/400 2026-03-18 14:13 by 007_lilei
[考研] 326求调剂 +5 上岸的小葡 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:26 by ruiyingmiao
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:12 by ruiyingmiao
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 20:51 by 元子^0^
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
信息提示
请填处理意见