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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射旋转靶消耗不均匀
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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骑猪追锅锅

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[交流] 磁控溅射旋转靶消耗不均匀 已有5人参与

孪生磁控溅射靶在长久使用中发现某一点消耗比较快，这事为什么呢？

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1楼 2015-03-27 20:42:55
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骑猪追锅锅

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
2楼: Originally posted by a123266171 at 2015-03-29 00:09:07
应该是靶材的问题，靶材的纯度不对，或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。

孪生靶材同时使用，但是这种情况发生在对角线上，所以貌似跟靶材致密度关系不大吧，新靶刚使用没有特地选择某一边来装，都是随便选一头来装，但是换过几套靶来试，结果都是一样，所以这种可能性应该不大。

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3楼2015-03-29 00:39:30
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a123266171

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★
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应该是靶材的问题，靶材的纯度不对，或者是靶材的致密度不好。造成这些问题的原因都是厂家生产靶材的工艺有关。
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2楼2015-03-29 00:09:07
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Friend007

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象？

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4楼2015-03-29 11:31:44
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骑猪追锅锅

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-03-29 11:31:44
旋转靶 也会出现消耗不匀的现象？

是的，有出现这种现象，所以很不解。

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5楼2015-03-29 12:57:02
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