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求组磁控溅射的大神 已有3人参与
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| 本人刚刚学会磁控溅射，现在遇到了困难，想请教大神。我的问题入下：溅射功率为120w，溅射气压为0.4pa，溅射Sm靶时，发现其辉光是发散的，但结果还是溅射上了。心中有疑问，辉光为什么是发散了？这样对溅射结果有什么影响？ |
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 薄膜制备与特性 |
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2楼2015-04-22 19:11:15
lwei_txj
木虫 (正式写手)
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4楼2015-05-06 09:04:51
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Sm |
5楼2015-05-06 09:14:22
6楼2015-05-06 09:15:32