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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求组磁控溅射的大神
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luxiya

新虫 (初入文坛)

[求助] 求组磁控溅射的大神 已有3人参与

本人刚刚学会磁控溅射，现在遇到了困难，想请教大神。我的问题入下：溅射功率为120w，溅射气压为0.4pa，溅射Sm靶时，发现其辉光是发散的，但结果还是溅射上了。心中有疑问，辉光为什么是发散了？这样对溅射结果有什么影响？
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材料科学
1楼 2015-04-22 14:46:35
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
luxiya: 金币+5 2015-04-23 19:12:32
发散不一定不对，有可能是非平衡磁场造成的，楼主可以发个图片看看

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2楼2015-04-22 19:11:15
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lwei_txj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你溅射的材料容易磁化，而且可能会有放射性。
辉光发散可能和靶材磁化有关，最好测试一下沉积的物质成分，才能科学判断。
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3楼2015-04-29 10:41:40
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你溅射的是什么材料呀？
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4楼2015-05-06 09:04:51
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luxiya

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-05-06 09:04:51
你溅射的是什么材料呀？

Sm
5楼2015-05-06 09:14:22
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luxiya

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lwei_txj at 2015-04-29 10:41:40
你溅射的材料容易磁化，而且可能会有放射性。
辉光发散可能和靶材磁化有关，最好测试一下沉积的物质成分，才能科学判断。

我溅射的是Sm
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材料科学
6楼2015-05-06 09:15:32
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