24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 1442  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么? 已有1人参与

我去镀铜了,直流电源,由于距离比较远,电压调到500v才会起辉,就是500w,压强1pa,通氩气 60sccm。上次镀了20分钟  ,把腔室也镀成了铜色正常么?
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:00:45
靶材离基片的距离大约14cm,会不会太远了,看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱,直对基片,而是很散在腔室。...

将间距调的近一些,再改变一下气压,尝试一下在较低的起弧电压下溅镀。
6楼2014-09-30 12:45:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tang2014: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-09-30 13:31:57
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。
2楼2014-09-30 09:50:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。

靶材离基片的距离大约14cm,会不会太远了,看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱,直对基片,而是很散在腔室。
3楼2014-09-30 12:00:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。

而且功率没法调,直到500w才能起辉,
4楼2014-09-30 12:07:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 复试调剂 +20 积极向上; 2026-04-10 22/1100 2026-04-15 09:07 by lanmenghu
[考研] 材料相关专业344求调剂双非工科学校或课题组 +21 hualkop 2026-04-12 22/1100 2026-04-14 17:44 by lhj2009
[考研] 材料专业344求调剂 +17 hualkop 2026-04-10 22/1100 2026-04-14 16:21 by sxdj2
[考研] 药学305求调剂 +10 玛卡巴卡boom 2026-04-10 10/500 2026-04-14 15:55 by zs92450
[基金申请] RY:中国产出的科学垃圾论文,绝对数量和比例都世界第一 +6 zju2000 2026-04-14 17/850 2026-04-14 14:34 by jurkat.1640
[考研] 一志愿华南理工大学331分材料求调剂 +10 天下ww 2026-04-09 11/550 2026-04-13 23:25 by pies112
[考研] 22专硕求调剂 +8 haoyun上岸 2026-04-11 10/500 2026-04-13 22:15 by zhq0425
[考研] 085404 293求调剂 +9 勇远库爱314 2026-04-08 9/450 2026-04-12 02:24 by 秋豆菜芽
[考研] 280求调剂 +7 兮兮夜夜 2026-04-09 10/500 2026-04-12 00:33 by 蓝云思雨
[考研] 药学专硕调剂 +8 ? 一路生?花? 2026-04-10 10/500 2026-04-11 21:21 by zhouxiaoyu
[考研] 农业管理302分求调剂 +3 xuening1 2026-04-10 3/150 2026-04-11 10:18 by zhq0425
[考研] 311求调剂 +13 xyp想读书 2026-04-10 14/700 2026-04-11 09:41 by 猪会飞
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +9 你让我怎么荔枝 2026-04-10 10/500 2026-04-11 08:33 by zhq0425
[考研] 化学工程与技术324调剂 +23 孙常华 2026-04-09 25/1250 2026-04-11 00:07 by 骑牛渡寒江
[考研] 263能源动力专硕求调剂 +3 加大号饭盒袋 2026-04-10 3/150 2026-04-10 22:23 by 286640313
[考研] 一志愿京区985,085401,与本科专业一致,电子信息工程, +4 阳光开朗的男孩 2026-04-10 4/200 2026-04-10 18:27 by shenrf
[考研] 070300化学 求调剂 +13 73372112 2026-04-08 13/650 2026-04-09 20:22 by maddjdld
[考研] 一志愿中科院105500专业总分315求调剂 +6 lallalh 2026-04-09 7/350 2026-04-09 17:51 by lallalh
[考研] 086004 求调剂 309 +7 Yin DY 2026-04-08 7/350 2026-04-09 13:59 by Delta2012
[考研] 085801 总分275 本科新能源 求调剂 +8 bradoner 2026-04-08 9/450 2026-04-09 13:43 by only周
信息提示
请填处理意见