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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么？
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tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么？ 已有1人参与

我去镀铜了，直流电源，由于距离比较远，电压调到500v才会起辉，就是500w，压强1pa，通氩气 60sccm。上次镀了20分钟  ，把腔室也镀成了铜色正常么？
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1楼 2014-09-30 09:14:25
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tang2014: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-09-30 13:31:57
腔室时间长了被镀成铜色很正常，但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅，真正溅射到基板上的恐怕就没多少了，这样一来浪费太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。
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2楼2014-09-30 09:50:24
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tang2014

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常，但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅，真正溅射到基板上的恐怕就没多少了，这样一来浪费太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。

靶材离基片的距离大约14cm，会不会太远了，看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱，直对基片，而是很散在腔室。
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3楼2014-09-30 12:00:45
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tang2014

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常，但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅，真正溅射到基板上的恐怕就没多少了，这样一来浪费太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。

而且功率没法调，直到500w才能起辉，
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4楼2014-09-30 12:07:13
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:07:13
而且功率没法调，直到500w才能起辉，...

根据Paschen定律，最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系：U=B*P*d/ln[A*P*d/ln(1+1/γ)]。其中：U是击穿电压（千伏）, d是电极距离（厘米），P是压（托）。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发生的电子发射的过程。U存在一个最小值，楼主为何不改变气压和间距试试呢？
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5楼2014-09-30 12:42:54
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:00:45
靶材离基片的距离大约14cm，会不会太远了，看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱，直对基片，而是很散在腔室。...

将间距调的近一些，再改变一下气压，尝试一下在较低的起弧电压下溅镀。
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6楼2014-09-30 12:45:03
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tang2014

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 12:42:54
根据Paschen定律，最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系：U=B*P*d/ln。其中：U是击穿电压（千伏）, d是电极距离（厘米），P是压（托）。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发 ...

非常感谢，我去试试，
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7楼2014-09-30 13:32:19
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