24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1425  |  回复: 6

tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么? 已有1人参与

我去镀铜了,直流电源,由于距离比较远,电压调到500v才会起辉,就是500w,压强1pa,通氩气 60sccm。上次镀了20分钟  ,把腔室也镀成了铜色正常么?
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tang2014: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-09-30 13:31:57
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。
2楼2014-09-30 09:50:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。

靶材离基片的距离大约14cm,会不会太远了,看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱,直对基片,而是很散在腔室。
3楼2014-09-30 12:00:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。

而且功率没法调,直到500w才能起辉,
4楼2014-09-30 12:07:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
4楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:07:13
而且功率没法调,直到500w才能起辉,...

根据Paschen定律,最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系:U=B*P*d/ln[A*P*d/ln(1+1/γ)]。其中:U是击穿电压(千伏), d是电极距离(厘米),P是压(托)。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发生的电子发射的过程。U存在一个最小值,楼主为何不改变气压和间距试试呢?
5楼2014-09-30 12:42:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:00:45
靶材离基片的距离大约14cm,会不会太远了,看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱,直对基片,而是很散在腔室。...

将间距调的近一些,再改变一下气压,尝试一下在较低的起弧电压下溅镀。
6楼2014-09-30 12:45:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 12:42:54
根据Paschen定律,最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系:U=B*P*d/ln。其中:U是击穿电压(千伏), d是电极距离(厘米),P是压(托)。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发 ...

非常感谢,我去试试,
7楼2014-09-30 13:32:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 tang2014 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 263能源动力专硕求调剂 +3 加大号饭盒袋 2026-04-10 3/150 2026-04-10 20:06 by 帕尔马拉特
[考研] 调剂 +18 小张ZA 2026-04-10 19/950 2026-04-10 17:35 by laoshidan
[考研] 282,电气工程专业,求调剂,不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[考研] 269求调剂 +10 啊啊我我 2026-04-07 10/500 2026-04-10 10:38 by 高维春
[考研] 求调剂 +3 电气300求调剂不 2026-04-08 3/150 2026-04-10 10:19 by LHGeng
[考研] 0703化学求调剂 +21 不知名的小卅 2026-04-08 21/1050 2026-04-09 18:55 by l_paradox
[考研] 生物学调剂,一志愿西南大学348,Top期刊一区二作、二区三作,三等奖学金三次 +4 candyyyi 2026-04-09 4/200 2026-04-09 18:39 by l_paradox
[考研] 求调剂材料科学与工程一志愿985初试365分 +5 材化李可 2026-04-08 5/250 2026-04-09 17:00 by Lilly_Li
[考研] 复试调剂,一志愿郑州大学材料与化工289分 +31 硕星赴 2026-04-08 31/1550 2026-04-09 16:54 by Delta2012
[考研] 083200 初试305分 求调剂 暂不考虑跨专业 +15 Claireyyyy 2026-04-09 15/750 2026-04-09 16:11 by zhuimr
[考研] 化学工程与技术专业一志愿哈工程 291分B区 国家级大创负责人 有一作论文 +13 Emmy~ 2026-04-09 13/650 2026-04-09 14:47 by only周
[考研] 265求调剂 +4 风说她早忘了 2026-04-07 4/200 2026-04-09 13:59 by only周
[考研] 280求调剂 +5 兮兮夜夜 2026-04-09 8/400 2026-04-09 11:15 by 兮兮夜夜
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +3 双一流本科机械 2026-04-08 3/150 2026-04-08 20:41 by 土木硕士招生
[考研] 0854求调剂 +9 亨氏番茄沙司 2026-04-06 10/500 2026-04-07 14:37 by shdgaomin
[考研] 专硕304找调剂,一线城市最好 +3 李lsl李 2026-04-05 3/150 2026-04-06 12:16 by ffffjjjj
[考研] 化学357分,考研调剂 +11 .Starry. 2026-04-04 12/600 2026-04-06 06:28 by houyaoxu
[考研] 考研调剂生寻找导师 +3 顾瞻考研啊 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:18 by 啵啵啵0119
[考研] 数一英一274机械调剂 +5 星陨流霞 2026-04-04 6/300 2026-04-05 11:38 by arrow8852
[考研] 一志愿双非085502,267分,过四级求调剂 +3 再忙也要吃饭啊 2026-04-03 3/150 2026-04-04 05:03 by gswylq
信息提示
请填处理意见