应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么？
71/1返回列表
查看: 1429  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么？ 已有1人参与

我去镀铜了，直流电源，由于距离比较远，电压调到500v才会起辉，就是500w，压强1pa，通氩气 60sccm。上次镀了20分钟  ，把腔室也镀成了铜色正常么？
回复此楼

» 本帖@通知

@yswyx

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-09-30 09:14:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tang2014: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-09-30 13:31:57
腔室时间长了被镀成铜色很正常，但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅，真正溅射到基板上的恐怕就没多少了，这样一来浪费太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-30 09:50:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常，但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅，真正溅射到基板上的恐怕就没多少了，这样一来浪费太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。

靶材离基片的距离大约14cm，会不会太远了，看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱，直对基片，而是很散在腔室。
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-30 12:00:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常，但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅，真正溅射到基板上的恐怕就没多少了，这样一来浪费太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。

而且功率没法调，直到500w才能起辉，
赞一下 回复此楼
4楼2014-09-30 12:07:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:07:13
而且功率没法调，直到500w才能起辉，...

根据Paschen定律，最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系：U=B*P*d/ln[A*P*d/ln(1+1/γ)]。其中：U是击穿电压（千伏）, d是电极距离（厘米），P是压（托）。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发生的电子发射的过程。U存在一个最小值，楼主为何不改变气压和间距试试呢？
赞一下 回复此楼
5楼2014-09-30 12:42:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:00:45
靶材离基片的距离大约14cm，会不会太远了，看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱，直对基片，而是很散在腔室。...

将间距调的近一些，再改变一下气压，尝试一下在较低的起弧电压下溅镀。
赞一下 回复此楼
6楼2014-09-30 12:45:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tang2014

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 12:42:54
根据Paschen定律，最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系：U=B*P*d/ln。其中：U是击穿电压（千伏）, d是电极距离（厘米），P是压（托）。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发 ...

非常感谢，我去试试，
赞一下 回复此楼
7楼2014-09-30 13:32:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 tang2014 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 广东省 085601 329分求调剂 +13 Eddieddd 2026-04-10 13/650 2026-04-10 23:27 by 314126402
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +8 你让我怎么荔枝 2026-04-10 9/450 2026-04-10 21:46 by fxue1114
[考研] 314求调剂 +18 xhhdjdjsjks 2026-04-09 19/950 2026-04-10 18:53 by HPUCZ
[考研] 求调剂 材料与工程 324分 专硕 +19 翩翩一书生 2026-04-10 21/1050 2026-04-10 11:41 by wp06
[考研] 环境专硕调剂 +16 会说话的肘子 2026-04-06 16/800 2026-04-10 10:30 by asy1wn
[考研] 调剂 +8 只叙离别辞 2026-04-09 10/500 2026-04-09 20:25 by zl8213662
[考研] 289求调剂 +4 L1ttleTiger 2026-04-04 4/200 2026-04-09 19:53 by xiayizhi
[考研] 求机械专硕297第二批调剂 +5 拾柒12。 2026-04-08 5/250 2026-04-09 16:43 by 允当适度
[考研] 086000生物与医药调剂 +7 awwwwwooooo 2026-04-09 7/350 2026-04-09 13:31 by 北极159263
[考研] 353求调剂 +8 晴空万里air 2026-04-07 8/400 2026-04-09 00:18 by GouQ
[考研] 化工学硕 285求调剂 +26 Wisjxn 2026-04-07 26/1300 2026-04-08 14:42 by screening
[考研] 调剂 +3 电气300求调剂不 2026-04-08 6/300 2026-04-08 09:39 by 电气300求调剂不
[考研] 0854电子信息319求调剂（接受跨专业调剂） +5 星星不眨眼喽 2026-04-05 6/300 2026-04-07 22:16 by hemengdong
[考研] 生物学363调剂求助 +7 fanzhang6666 2026-04-06 9/450 2026-04-07 17:37 by lijunpoly
[考研] 292求调剂 +4 lilllllxccc 2026-04-05 5/250 2026-04-07 09:29 by 纺大杨老师
[考研] 一志愿华中农业大学0710（A）初试329分 求调剂 +5 一名26考研生 2026-04-04 5/250 2026-04-07 08:54 by 18828373951
[考研] 0817化学工程与技术求调剂，一志愿中海洋319 +14 lv945 2026-04-04 14/700 2026-04-06 10:20 by 蓝云思雨
[考研] 298求调剂 +7 manman511 2026-04-05 7/350 2026-04-05 10:29 by 唐沐儿
[考研] 求生物学学硕调剂——364分 +7 云朵遛弯指南 2026-04-04 7/350 2026-04-04 22:49 by zhyzzh
[考研] 323求调剂 +8 李佳乐1 2026-04-04 8/400 2026-04-04 22:26 by hemengdong
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭