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tang2014

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问磁控溅射把腔室都有铜的颜色正常么? 已有1人参与

我去镀铜了,直流电源,由于距离比较远,电压调到500v才会起辉,就是500w,压强1pa,通氩气 60sccm。上次镀了20分钟  ,把腔室也镀成了铜色正常么?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tang2014: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-09-30 13:31:57
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。
2楼2014-09-30 09:50:24
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tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。

靶材离基片的距离大约14cm,会不会太远了,看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱,直对基片,而是很散在腔室。
3楼2014-09-30 12:00:45
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tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室时间长了被镀成铜色很正常,但短时间里就这样了恐怕就有点问题了。这说明被打出来的铜颗粒向四处飞溅,真正溅射到基板上的恐怕就没多少了,这样一来浪费太大,靶材的利用率也低。找找原因吧。

而且功率没法调,直到500w才能起辉,
4楼2014-09-30 12:07:13
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
4楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:07:13
而且功率没法调,直到500w才能起辉,...

根据Paschen定律,最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系:U=B*P*d/ln[A*P*d/ln(1+1/γ)]。其中:U是击穿电压(千伏), d是电极距离(厘米),P是压(托)。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发生的电子发射的过程。U存在一个最小值,楼主为何不改变气压和间距试试呢?
5楼2014-09-30 12:42:54
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by tang2014 at 2014-09-30 12:00:45
靶材离基片的距离大约14cm,会不会太远了,看那个起辉的绿光并没有形成一个光柱,直对基片,而是很散在腔室。...

将间距调的近一些,再改变一下气压,尝试一下在较低的起弧电压下溅镀。
6楼2014-09-30 12:45:03
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tang2014

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 12:42:54
根据Paschen定律,最小起弧电压与压力和板间距之积成单因素的因果函数关系:U=B*P*d/ln。其中:U是击穿电压(千伏), d是电极距离(厘米),P是压(托)。式中A和B在一定E/P范围内是常数。 γ为离子撞击阴极时所发 ...

非常感谢,我去试试,
7楼2014-09-30 13:32:19
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