应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
241/3返回列表123下一页
查看: 2527  |  回复: 23
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

yao366

新虫 (小有名气)

[求助] 溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因

我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。

20130306_162704.jpg



20130306_162618.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

dearhanzi 存在感

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-06 19:35:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-03-08 08:34:45
3楼正解，除此之外还要注意靶的安装位置。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2013-03-07 20:39:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by yao366 at 2013-03-07 23:17:38
谢谢，您说的很有道理。我还想问你，像出现这种情况后镀出来的薄膜的成分会出现靶材成分之后的杂质元素吗？...

什么是靶材成分之后的杂质元素？
你这个就会导致过热的地方和其他的地方的溅射速率不同，如果反应溅射，差别会更大。杂质是没有的，哪里来的杂质阿？

另外不知道你这50个金币咱能分多少啊？哈哈
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2013-03-08 09:22:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by mokangxin at 2013-04-26 11:00:46
楼主你留下指纹啦，拿靶材要戴手套

都成这熊样了，带啥手套啊
赞一下(1人) 回复此楼
19楼2013-04-26 23:01:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

存在感

木虫 (小有名气)
送红花一朵
请问你的NaCl在哪里买的呢？我都没买成
赞一下(1人) 回复此楼
加班到2018年6月
22楼2013-07-05 11:42:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yao366

新虫 (小有名气)
怎么没人帮我解答解答啊，难道我问错地方了？
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-07 00:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-03-08 08:34:27
初步判定你这个市冷却不好造成的，尤其是烧焦的部位，明显的呈现晶粒化，其他地方没有，说明这里的温度很高。具体原因你自己去找，别人不了解细节，没办法给你回答。
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-07 14:02:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2013-03-08 08:34:37
建议你在靶材和底座之间加两层石墨粘等导热性好的东西，这样或许对你有帮助。按照靶材的时候也要用力均匀，否则歪了也会导致导热不均。
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-07 14:06:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-07 14:02:59
初步判定你这个市冷却不好造成的，尤其是烧焦的部位，明显的呈现晶粒化，其他地方没有，说明这里的温度很高。具体原因你自己去找，别人不了解细节，没办法给你回答。

谢谢，您说的很有道理。我还想问你，像出现这种情况后镀出来的薄膜的成分会出现靶材成分之后的杂质元素吗？
赞一下 回复此楼
6楼2013-03-07 23:17:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by houlucky at 2013-03-07 20:39:08
3楼正解，除此之外还要注意靶的安装位置。

能具体说说靶材安装时候要注意哪些吗？
赞一下 回复此楼
7楼2013-03-07 23:19:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 09:22:32
什么是靶材成分之后的杂质元素？
你这个就会导致过热的地方和其他的地方的溅射速率不同，如果反应溅射，差别会更大。杂质是没有的，哪里来的杂质阿？

另外不知道你这50个金币咱能分多少啊？哈哈...

我这个不是反应溅射。
那有没有可能是溅射过程中衬底上有东西掉到靶材上造成的这种情况啊？
因为我用了云母片做衬底，拿东西容易掉小碎末。
还有一个就是我溅射一个小时之后，为什么放衬底的托盘拿出来之后还会烫手啊？
金币是吧，看你这么专业的回答我想都给你的，但是不知道怎么给啊
赞一下 回复此楼
9楼2013-03-08 10:34:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yao366: 金币+50, ★★★很有帮助 2013-03-08 13:22:30
引用回帖:
9楼: Originally posted by yao366 at 2013-03-08 10:34:12
我这个不是反应溅射。
那有没有可能是溅射过程中衬底上有东西掉到靶材上造成的这种情况啊？
因为我用了云母片做衬底，拿东西容易掉小碎末。
还有一个就是我溅射一个小时之后，为什么放衬底的托盘拿出来之后还会 ...

你的东西掉在靶材上，为什么啊？不大明白你的意思，你给的这些信息不是很全。没办法回答你。具体很多东西你可以自己分析的。

托盘热那是因为你的样品架没有冷却，跟靶材没有任何关系。plasma本来就是有能量的，长期轰击一个地方必然导致那里发热。

具体金币 怎么给，万事不难，看你有没有这个心了哦
赞一下 回复此楼
10楼2013-03-08 11:10:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yao366 的主题更新
241/3返回列表123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 321求调剂 +5 大米饭！ 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:33 by houyaoxu
[考研] 材料专硕306英一数二 +4 z1z2z3879 2026-03-16 4/200 2026-03-16 13:53 by laoshidan
[教师之家] 焦虑 +7 水冰月月野兔 2026-03-13 9/450 2026-03-16 10:00 by Quakerbird
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 环境调剂 +6 晓看天暮看云 2026-03-09 6/300 2026-03-14 01:16 by JourneyLucky
[考研] 招收0805（材料）调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 281求调剂 +9 Koxui 2026-03-12 11/550 2026-03-13 20:50 by Koxui
[考研] 材料工程调剂 +4 咪咪空空 2026-03-11 4/200 2026-03-13 19:57 by JourneyLucky
[考研] 求b区学校调剂 +3 周56 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:20 by JourneyLucky
[考研] 【0856】化学工程（085602）313 分，本科学科评估A类院校化学工程与工艺，诚求调剂 +7 小刘快快上岸 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:06 by ruiyingmiao
[考研] 土木第一志愿276求调剂，科研和技能十分丰富，求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +4 薛云鹏 2026-03-13 4/200 2026-03-13 10:40 by 学员8dgXkO
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
[考研] 研究生招生 +3 徐海涛11 2026-03-10 7/350 2026-03-12 14:26 by 徐海涛11
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭