| 查看: 2540 | 回复: 23 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
|
|||
我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。 20130306_162704.jpg  20130306_162618.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
dearhanzi» 猜你喜欢
一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂
已经有4人回复
-
一志愿武理材料305分求调剂
已经有6人回复
-
材料专硕英一数二306
已经有3人回复
-
085600材料与化工调剂 324分
已经有7人回复
-
311求调剂
已经有3人回复
-
26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线
已经有7人回复
-
295求调剂
已经有5人回复
-
354求调剂
已经有5人回复
-
材料专业求调剂
已经有3人回复
-
求材料调剂
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【求助】哪位大侠帮我看看掺铝氧化锌的XRD图谱
已经有12人回复
houlucky
木虫 (正式写手)
- 应助: 52 (初中生)
- 金币: 3753.3
- 散金: 387
- 红花: 3
- 帖子: 969
- 在线: 240.8小时
- 虫号: 228662
- 注册: 2006-03-25
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
5楼2013-03-07 20:39:08
2楼2013-03-07 00:05:02
3楼2013-03-07 14:02:59
4楼2013-03-07 14:06:37
