| 查看: 2432 | 回复: 23 | ||||
[求助]
溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
|
||||
我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。 20130306_162704.jpg  20130306_162618.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
dearhanzi» 猜你喜欢
想换工作。大多数高校都是 评职称时 认可5年内在原单位取得的成果吗？
已经有9人回复
-
求个博导看看
已经有16人回复
-
上海工程技术大学张培磊教授团队招收博士生
已经有4人回复
-
上海工程技术大学【激光智能制造】课题组招收硕士
已经有5人回复
-
求助院士们，这个如何合成呀
已经有4人回复
-
临港实验室与上科大联培博士招生1名
已经有9人回复
-
需要合成515-64-0，50g，能接单的留言
已经有4人回复
-
自荐读博
已经有4人回复
-
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？
已经有6人回复
-
带资进组求博导收留
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【求助】哪位大侠帮我看看掺铝氧化锌的XRD图谱
已经有12人回复
houlucky
木虫 (正式写手)
- 应助: 52 (初中生)
- 金币: 3753.3
- 散金: 387
- 红花: 3
- 帖子: 969
- 在线: 240.8小时
- 虫号: 228662
- 注册: 2006-03-25
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
5楼2013-03-07 20:39:08
8楼2013-03-08 09:22:32
19楼2013-04-26 23:01:57
存在感
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2617.8
- 散金: 196
- 红花: 1
- 帖子: 179
- 在线: 62.6小时
- 虫号: 2168640
- 注册: 2012-12-05
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
22楼2013-07-05 11:42:04
2楼2013-03-07 00:05:02
3楼2013-03-07 14:02:59
4楼2013-03-07 14:06:37
6楼2013-03-07 23:17:38
7楼2013-03-07 23:19:28
9楼2013-03-08 10:34:12
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yao366: 金币+50, ★★★很有帮助 2013-03-08 13:22:30
yao366: 金币+50, ★★★很有帮助 2013-03-08 13:22:30
|
你的东西掉在靶材上，为什么啊？不大明白你的意思，你给的这些信息不是很全。没办法回答你。具体很多东西你可以自己分析的。 托盘热那是因为你的样品架没有冷却，跟靶材没有任何关系。plasma本来就是有能量的，长期轰击一个地方必然导致那里发热。 具体金币 怎么给，万事不难，看你有没有这个心了哦 |
10楼2013-03-08 11:10:09