溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因 - 功能材料 - 功能薄膜

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yao366

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10楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:10:09
你的东西掉在靶材上，为什么啊？不大明白你的意思，你给的这些信息不是很全。没办法回答你。具体很多东西你可以自己分析的。

托盘热那是因为你的样品架没有冷却，跟靶材没有任何关系。plasma本来就是有能量的， ...

是这样给金币吗

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11楼2013-03-08 13:23:07

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dearhanzi

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送鲜花一朵

呵呵，多谢了。

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12楼2013-03-08 13:54:13

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dearhanzi

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等你有什么改进的结果的时候在回来说一下，大家共同探讨这个问题啊

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13楼2013-03-08 13:55:35

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yao366

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13楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 13:55:35
等你有什么改进的结果的时候在回来说一下，大家共同探讨这个问题啊

那是，多想你学习

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14楼2013-03-08 14:01:31

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shinali

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★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-04-19 12:00:53

第一种可能：靶材密度较低且靶材加工后没有彻底清洗，所以你的靶材溅射后边缘有黑色物质，可能是有机物分解的碳，建议测一下靶材的密度。
第二种可能：冷却不好，但是此种可能性不大。
第三，我也是这方面镀膜的之前也出现过类似的问题，后来换了一家靶材供应商，就没有出现过此类问题了。

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15楼2013-04-18 10:59:46

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yao366

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15楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 10:59:46
第一种可能：靶材密度较低且靶材加工后没有彻底清洗，所以你的靶材溅射后边缘有黑色物质，可能是有机物分解的碳，建议测一下靶材的密度。
第二种可能：冷却不好，但是此种可能性不大。
第三，我也是这方面镀膜的之 ...

多谢！
我的靶材是自己熔炼的，可能是不太干净，或者致密度不够高。

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16楼2013-04-18 23:56:36

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