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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
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yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 11:10:09
你的东西掉在靶材上，为什么啊？不大明白你的意思，你给的这些信息不是很全。没办法回答你。具体很多东西你可以自己分析的。

托盘热那是因为你的样品架没有冷却，跟靶材没有任何关系。plasma本来就是有能量的， ...

是这样给金币吗
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11楼2013-03-08 13:23:07
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
呵呵，多谢了。
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12楼2013-03-08 13:54:13
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
等你有什么改进的结果的时候在回来说一下，大家共同探讨这个问题啊
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13楼2013-03-08 13:55:35
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yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-08 13:55:35
等你有什么改进的结果的时候在回来说一下，大家共同探讨这个问题啊

那是，多想你学习
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14楼2013-03-08 14:01:31
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shinali

银虫 (小有名气)
★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-04-19 12:00:53
第一种可能：靶材密度较低且靶材加工后没有彻底清洗，所以你的靶材溅射后边缘有黑色物质，可能是有机物分解的碳，建议测一下靶材的密度。
第二种可能：冷却不好，但是此种可能性不大。
第三，我也是这方面镀膜的之前也出现过类似的问题，后来换了一家靶材供应商，就没有出现过此类问题了。
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15楼2013-04-18 10:59:46
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yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 10:59:46
第一种可能：靶材密度较低且靶材加工后没有彻底清洗，所以你的靶材溅射后边缘有黑色物质，可能是有机物分解的碳，建议测一下靶材的密度。
第二种可能：冷却不好，但是此种可能性不大。
第三，我也是这方面镀膜的之 ...

多谢！
我的靶材是自己熔炼的，可能是不太干净，或者致密度不够高。
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16楼2013-04-18 23:56:36
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shinali

银虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by yao366 at 2013-04-18 23:56:36
多谢！
我的靶材是自己熔炼的，可能是不太干净，或者致密度不够高。...

不客气，
有什么问题以后可以互相交流，呵呵
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17楼2013-04-19 09:27:16
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mokangxin

木虫 (正式写手)
楼主你留下指纹啦，拿靶材要戴手套
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18楼2013-04-26 11:00:46
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yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by mokangxin at 2013-04-26 11:00:46
楼主你留下指纹啦，拿靶材要戴手套

都成这熊样了，带啥手套啊
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19楼2013-04-26 23:01:57
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
靶材安装、靶材表面、气体是否无氧
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善良
20楼2013-05-05 11:32:57
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