| 查看: 2542 | 回复: 23 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
|
||
我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。 20130306_162704.jpg  20130306_162618.jpg |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
dearhanzi» 猜你喜欢
【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂
已经有4人回复
-
317求调剂
已经有5人回复
-
0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章
已经有10人回复
-
一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。
已经有3人回复
-
一志愿福大288有机化学，求调剂
已经有3人回复
-
085600材料与化工求调剂
已经有6人回复
-
一志愿西安交通大学材料工程专业 282分求调剂
已经有6人回复
-
085600材料与化工调剂 324分
已经有10人回复
-
294求调剂材料与化工专硕
已经有11人回复
-
一志愿南昌大学，327分，材料与化工085600
已经有3人回复
存在感
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2617.8
- 散金: 196
- 红花: 1
- 帖子: 179
- 在线: 62.6小时
- 虫号: 2168640
- 注册: 2012-12-05
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
22楼2013-07-05 11:42:04
2楼2013-03-07 00:05:02
3楼2013-03-07 14:02:59
4楼2013-03-07 14:06:37
