| 查看: 2508 | 回复: 23 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
|
||
我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。 20130306_162704.jpg  20130306_162618.jpg |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
dearhanzi» 猜你喜欢
AI 太可怕了，写基金时，提出想法，直接生成的文字比自己想得深远，还有科学性
已经有9人回复
-
依托企业入选了国家启明计划青年人才。有无高校可以引进的。
已经有11人回复
-
依托企业入选了国家启明计划青年人才。有无高校可以引进的。
已经有10人回复
-
同年申请2项不同项目，第1个项目里不写第2个项目的信息，可以吗
已经有9人回复
-
表哥与省会女结婚，父母去帮带孩子被省会女气回家生重病了
已经有7人回复
-
天津大学招2026.09的博士生，欢迎大家推荐交流（博导是本人）
已经有9人回复
存在感
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2617.8
- 散金: 196
- 红花: 1
- 帖子: 179
- 在线: 62.6小时
- 虫号: 2168640
- 注册: 2012-12-05
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
22楼2013-07-05 11:42:04
2楼2013-03-07 00:05:02
3楼2013-03-07 14:02:59
4楼2013-03-07 14:06:37