应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
51/1返回列表
查看: 2554  |  回复: 23
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yao366

新虫 (小有名气)

[求助] 溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因

我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。

20130306_162704.jpg



20130306_162618.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

dearhanzi 存在感

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-06 19:35:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by houlucky at 2013-03-07 20:39:08
3楼正解，除此之外还要注意靶的安装位置。

能具体说说靶材安装时候要注意哪些吗？
赞一下 回复此楼
7楼2013-03-07 23:19:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答

yao366

新虫 (小有名气)
怎么没人帮我解答解答啊，难道我问错地方了？
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-07 00:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-03-08 08:34:27
初步判定你这个市冷却不好造成的，尤其是烧焦的部位，明显的呈现晶粒化，其他地方没有，说明这里的温度很高。具体原因你自己去找，别人不了解细节，没办法给你回答。
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-07 14:02:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2013-03-08 08:34:37
建议你在靶材和底座之间加两层石墨粘等导热性好的东西，这样或许对你有帮助。按照靶材的时候也要用力均匀，否则歪了也会导致导热不均。
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-07 14:06:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 070300化学319求调剂 +7 锦鲤0909 2026-03-17 7/350 2026-03-21 03:46 by JourneyLucky
[考研] 299求调剂 +6 △小透明* 2026-03-17 6/300 2026-03-21 02:42 by JourneyLucky
[考研] 材料 336 求调剂 +3 An@. 2026-03-18 4/200 2026-03-21 01:39 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-18 6/300 2026-03-21 00:32 by JourneyLucky
[考研] 22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术 +4 solanXXX 2026-03-20 4/200 2026-03-20 23:49 by alg094825
[考研] 一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。 +4 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:15 by JourneyLucky
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 5/250 2026-03-20 22:11 by 云游重阳
[考研] 材料学硕297已过四六级求调剂推荐 +11 adaie 2026-03-19 11/550 2026-03-20 21:30 by laoshidan
[考研] 295复试调剂 +8 简木ChuFront 2026-03-19 8/400 2026-03-20 20:44 by zhukairuo
[论文投稿] 申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 081700化工学硕调剂 +3 【1】 2026-03-16 3/150 2026-03-19 23:40 by edmund7
[考研] 320求调剂0856 +3 不想起名字112 2026-03-19 3/150 2026-03-19 22:53 by 学员8dgXkO
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[硕博家园] 湖北工业大学 生命科学与健康学院-课题组招收2026级食品/生物方向硕士 +3 1喜春8 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:18 by ber川cool子
[考研] 一志愿南京大学，080500材料科学与工程，调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 275求调剂 +4 太阳花天天开心 2026-03-16 4/200 2026-03-17 10:53 by 功夫疯狂
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 求老师收留调剂 +4 jiang姜66 2026-03-14 5/250 2026-03-15 20:11 by Winj1e
[考研] 复试调剂 +3 呼呼？~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭