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einsc

铜虫 (初入文坛)

[求助] 真空抽不上去什么原因已有10人参与

分子泵抽真空不比以往,抽了一个小时都才抽到6E-2Pa,哪位虫友提点建议如何提高抽度
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fyl1989

金虫 (正式写手)

先纠正一下3楼,有的分子泵是有油的,循环水的一部分通向分子泵就是用来冷却分子泵轴转动过程中给油带来的热量的。你先看看油用了多长时间了,正常应该在1年左右换一次,如果不是油的事,建议你把整个腔室打磨一下,用吸尘器好好吸吸,再用酒精擦一遍,再抽,到了1pa一下烘烤一下,看行不行,如不行,再检查各个阀门,用酒精检查(此时已抽至你说的极限,电离规开着就行),如有阀门漏气,喷上酒精压强会有明显变化,如也不是阀门的问题,你看看是不是机械泵与腔室某天做完实验没有关紧,导致泵油有一些由于压强的关系进了机械泵与腔室连接的管道。
以上这些问题是可能导致的,也是我们以前所遇到的,希望对你有所帮助。
5楼2014-01-16 15:08:44
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


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einsc: 金币+1 2014-01-16 08:53:06
是不是真空油不行了,要进行更换了?
2楼2014-01-15 21:42:43
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vasp-newer

金虫 (小有名气)

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einsc: 金币+1 2014-01-16 08:53:16
有漏的地方,捡漏,别无他法

二楼,分子泵没有油

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2014-01-16 00:03:25
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haz_2008

木虫 (正式写手)

No

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1. 检漏,最好用检漏仪检漏。
2. 确认腔体是完全干净的,没有水分之类的液体。
3. 提高真空泵抽气速率可以尝试给腔体加热。
沧海一粟
10楼2014-01-17 12:38:03
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sinbad.l

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1.给腔体、管道、分子泵体缠加热带烘烤去水汽;
2.若不行就检漏吧;
12楼2014-01-18 20:30:24
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

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应该是漏压了吧 排查下
4楼2014-01-16 11:37:46
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Angel43

新虫 (小有名气)

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是不是油不行了或者哪里不严实啊

[ 发自小木虫客户端 ]
6楼2014-01-16 15:45:23
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einsc

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Angel43 at 2014-01-16 15:45:23
是不是油不行了或者哪里不严实啊

谁知道分子泵怎么换油
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7楼2014-01-16 16:09:18
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合肥科晶

新虫 (初入文坛)

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8楼2014-01-17 09:29:30
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einsc

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 合肥科晶 at 2014-01-17 09:29:30
分子泵是有油的!主要起到冷却和润滑2个作用!按照你所说的现象,分子泵真空必然没有这么低!请检查真空连接装置和检测真空的规管!你的规管是电离规?




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...

是电离规啊
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9楼2014-01-17 10:42:07
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