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einsc

铜虫 (初入文坛)

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专业: 基础物理学

[求助] 真空抽不上去什么原因已有10人参与

分子泵抽真空不比以往，抽了一个小时都才抽到6E-2Pa，哪位虫友提点建议如何提高抽度

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寻共鸣之力，求浩然之气

1楼2014-01-15 20:00:18

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fyl1989

金虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

先纠正一下3楼，有的分子泵是有油的，循环水的一部分通向分子泵就是用来冷却分子泵轴转动过程中给油带来的热量的。你先看看油用了多长时间了，正常应该在1年左右换一次，如果不是油的事，建议你把整个腔室打磨一下，用吸尘器好好吸吸，再用酒精擦一遍，再抽，到了1pa一下烘烤一下，看行不行，如不行，再检查各个阀门，用酒精检查（此时已抽至你说的极限，电离规开着就行），如有阀门漏气，喷上酒精压强会有明显变化，如也不是阀门的问题，你看看是不是机械泵与腔室某天做完实验没有关紧，导致泵油有一些由于压强的关系进了机械泵与腔室连接的管道。
以上这些问题是可能导致的，也是我们以前所遇到的，希望对你有所帮助。