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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 磁控溅射用的溅射气体都有什么？

RF磁控溅射台，镀膜时 常用Ar气体，别的气体可行吗，可不可以用氮气作为溅射气体？
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镀金
1楼 2014-04-28 08:45:44
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案, 你是专业的 2014-04-28 12:12:45
一般选择惰性的氩气为工作气体，氮气等为反应气体。
即使氮气与靶材不反应，但其放电也不如氩气容易，且氮原子质量低，溅射效应比较差。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2014-04-28 08:59:00
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