应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射制备氮化铟薄膜
61/1返回列表
查看: 1501  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备氮化铟薄膜

我想要制备氮化铟薄膜，用纯金属铟为靶材，氮气和氩气为反应气体，我现在不知道，是该用直流反应溅射制备好还是用射频反应溅射制备比较好，请教高手，为我解答哪种方法得到薄膜比较好？如果用直流反应溅射的话，直流负高压应该为多少合适呢？多谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

收集的

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
1楼 2013-11-26 15:22:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

老冒

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+4, 3q 2013-11-27 02:28:47
wjy_421: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 09:09:10
对于金属靶，直流和射频都差不多。如果让我选，就选直流，避免射频的辐射。至于高压加多少，那还要和气体流量、溅射速度等因素综合考虑，那就是具体的工艺了，针对你的需要来摸索。我通常是压力维持在0.5pa左右，起辉后能够溅射即可。一家之言仅供参考。
赞一下 回复此楼
诗意人生跑龙套
2楼2013-11-26 21:13:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 09:09:18
如果氮气分压高的话，建议射频！反之如果氩气分压高则用直流亦可！其实如楼上所言，这里直流、射频都应该没问题，只不过同等功率下直流溅射速率可能会稍微慢！具体的气压、电压、气体混合比等工艺参数都是不同装置不同设定，没有一个定论该多少的。楼主可以慢慢摸一些工艺，试着逐步改变一些参数，应该是能得到不同氮含量的薄膜，最后选择一个最适合自己的那个氮含量的参数！

话说楼主能否给俺科普一下，氮化铟薄膜可以用来干啥？
赞一下(1人) 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
3楼2013-11-27 07:03:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by leongoall at 2013-11-27 07:03:03
如果氮气分压高的话，建议射频！反之如果氩气分压高则用直流亦可！其实如楼上所言，这里直流、射频都应该没问题，只不过同等功率下直流溅射速率可能会稍微慢！具体的气压、电压、气体混合比等工艺参数都是不同装置不 ...

我学的专业是光学，我主要是研究其光学性质
赞一下 回复此楼
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
4楼2013-11-27 09:08:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coatingzhang

捐助贵宾 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2013-11-30 22:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jiahong517

铁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
6楼2014-05-27 00:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wjy_421 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 4/200 2026-08-15 04:17 by 4wMiSEwB6436
[找工作] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 4/200 2026-08-15 02:21 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +11 Tide man 2026-08-10 12/600 2026-08-15 02:12 by home3163
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 7lpolszZVXgi 2026-08-14 4/200 2026-08-15 01:08 by 4wMiSEwB6436
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 HFw0lei2R37i 2026-08-14 8/400 2026-08-15 00:16 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +23 医学老男孩 2026-08-13 49/2450 2026-08-14 20:02 by zhaifei
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +5 Ldrop2023 2026-08-13 5/250 2026-08-14 18:48 by ssxclkj
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +9 majunge000 2026-08-10 12/600 2026-08-13 23:20 by iwuli
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭