应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！
101/1返回列表
查看: 2132  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！ 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么？有什么办法可以解决这个问题？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
1楼 2013-11-14 21:04:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中，不见千里马
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you！ 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区，在磁控下，氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道，即暗装金属挡板，接高电阻回流到地。

[ 发自小木虫客户端 ]

[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-11-15 01:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中，不见千里马
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想法子，在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向，同时，工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快，准。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-11-15 01:48:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
罩子应该是接地的，与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的，改造一下溅射枪，如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
赞一下 回复此楼
何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13278830580 at 2013-11-15 01:30:18
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区，在磁控下，氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道，即暗装金属挡板，接高电阻回流到地。


...

谢谢！我们设备的罩子已经接地了，而且罩子与靶台之间有一层绝缘层隔离，你说的原因应该可以排除。不知还有其他原因吗？
赞一下 回复此楼
物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
5楼2013-11-15 12:18:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-11-15 08:02:39
罩子应该是接地的，与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的，改造一下溅射枪，如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材

谢谢回复！中间有绝缘层，应该不会导通，真不知怎么回事...
赞一下 回复此楼
物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
6楼2013-11-15 12:20:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yxin_2008

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 嗯嗯浅悟 at 2013-11-15 12:20:33
谢谢回复！中间有绝缘层，应该不会导通，真不知怎么回事......

摇表量一下是否真实接地，另外可以把屏蔽罩卸下，用砂纸磨下，再装上试试

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
7楼2013-11-17 20:06:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zbqi_xmu

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶和屏蔽罩之间是有间隙的吧，3-5毫米左右吧
赞一下 回复此楼
天道酬勤
8楼2013-11-17 21:05:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zbqi_xmu

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么靶材和罩子中间加绝缘层呢？
赞一下 回复此楼
天道酬勤
9楼2013-11-17 21:08:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匹配器呢

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
求助  我是做磁控溅射的 由于靶启辉溅射时反射率比较高，于是调整匹配器，结构辉光没有指示针也不动了。后来给射频电源加功率 只有板压显示，没有板流显示，同时匹配器更是没有变化。想知道到底毛病出在哪？求大神指导！！！（经检查屏蔽罩与靶材没有问题，经肉眼检查传输线路没有问题）
赞一下 回复此楼
没有多少青春可以挥霍了！！
10楼2013-12-03 15:39:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 嗯嗯浅悟 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 286求调剂 +3 lemonzzn 2026-03-16 5/250 2026-03-16 20:43 by lemonzzn
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +6 RuitingC 2026-03-12 6/300 2026-03-16 14:50 by 可淡不可忘
[考研] 290求调剂 +5 孔志浩 2026-03-12 10/500 2026-03-16 09:01 by 余晖&
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[基金申请] 面上和青基一样限30页不合理 +5 wowsunflower 2026-03-10 7/350 2026-03-14 17:21 by kingkocxr
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 一志愿湖师大化学289求调剂 +6 XMCMM3.14159 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:28 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +4 咪咪空空 2026-03-11 4/200 2026-03-13 19:57 by JourneyLucky
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 求b区学校调剂 +3 周56 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:20 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 309分请求调剂 +7 dtdxzxx 2026-03-12 8/400 2026-03-13 14:43 by jxchenghu
[考研] 0856化学工程280分求调剂 +4 shenzxsn 2026-03-11 4/200 2026-03-13 11:55 by ymwdoctor
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考博] 26申博求助 +3 跳跃饼干 2026-03-10 4/200 2026-03-10 21:15 by Tntcnn
[考研] 0703化学调剂 +3 三dd. 2026-03-10 3/150 2026-03-10 15:45 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭