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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！
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嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！ 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么？有什么办法可以解决这个问题？
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物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
1楼 2013-11-14 21:04:49
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嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13278830580 at 2013-11-15 01:30:18
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区，在磁控下，氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道，即暗装金属挡板，接高电阻回流到地。


...

谢谢！我们设备的罩子已经接地了，而且罩子与靶台之间有一层绝缘层隔离，你说的原因应该可以排除。不知还有其他原因吗？
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物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
5楼2013-11-15 12:18:17
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13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中，不见千里马
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you！ 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区，在磁控下，氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道，即暗装金属挡板，接高电阻回流到地。

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[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
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2楼2013-11-15 01:30:18
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13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中，不见千里马
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想法子，在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向，同时，工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快，准。

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2013-11-15 01:48:18
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
罩子应该是接地的，与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的，改造一下溅射枪，如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
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何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
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