24小时热门版块排行榜    

查看: 2150  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题,请做磁控溅射的朋友指导一下! 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么?有什么办法可以解决这个问题?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远,物质越有智慧。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 13278830580 at 2013-11-15 01:30:18
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。


...

谢谢!我们设备的罩子已经接地了,而且罩子与靶台之间有一层绝缘层隔离,你说的原因应该可以排除。不知还有其他原因吗?
物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远,物质越有智慧。
5楼2013-11-15 12:18:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you! 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。

[ 发自小木虫客户端 ]

[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
2楼2013-11-15 01:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
想法子,在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向,同时,工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快,准。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-15 01:48:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
罩子应该是接地的,与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的,改造一下溅射枪,如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[基金申请] 被我言中:新模板不强调格式了,假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 303求调剂 +3 睿08 2026-03-17 5/250 2026-03-17 22:01 by 睿08
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
[考研] 求调剂,总分315,考的生物医药,一志愿湖南师范大学。调剂到任何专业都可以 +4 小丁想进步 2026-03-11 5/250 2026-03-17 16:05 by 外星文明
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 5/250 2026-03-14 16:30 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 一志愿中科院,化学方向,295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 Mochaaaa 2026-03-12 7/350 2026-03-13 22:18 by 星空星月
[考研] [0860]321分求调剂,ab区皆可 +4 宝贵热 2026-03-13 4/200 2026-03-13 22:01 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 328化工专硕求调剂 +4 。,。,。,。i 2026-03-12 4/200 2026-03-13 14:44 by JourneyLucky
[考研] 270求调剂 085600材料与化工专硕 +3 YXCT 2026-03-11 3/150 2026-03-13 10:13 by houyaoxu
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-12 4/200 2026-03-12 19:33 by 求调剂zz
信息提示
请填处理意见