24小时热门版块排行榜    

查看: 2139  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题,请做磁控溅射的朋友指导一下! 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么?有什么办法可以解决这个问题?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远,物质越有智慧。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
想法子,在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向,同时,工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快,准。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-15 01:48:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you! 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。

[ 发自小木虫客户端 ]

[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
2楼2013-11-15 01:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
罩子应该是接地的,与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的,改造一下溅射枪,如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 13278830580 at 2013-11-15 01:30:18
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。


...

谢谢!我们设备的罩子已经接地了,而且罩子与靶台之间有一层绝缘层隔离,你说的原因应该可以排除。不知还有其他原因吗?
物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远,物质越有智慧。
5楼2013-11-15 12:18:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 278求调剂 +3 Yy7400 2026-03-13 3/150 2026-03-17 08:24 by laoshidan
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +3 张vvvv 2026-03-15 5/250 2026-03-16 20:25 by 张vvvv
[考研] 材料与化工专硕调剂 +3 heming3743 2026-03-16 3/150 2026-03-16 15:05 by peike
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-16 3/150 2026-03-16 10:07 by 求调剂zz
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油!? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 材料工程327求调剂 +3 xiaohe12w 2026-03-11 3/150 2026-03-14 20:20 by ms629
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家,不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 复试调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 337一志愿华南理工0805材料求调剂 +7 mysdl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 22:43 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +5 是Lupa啊 2026-03-11 5/250 2026-03-13 22:13 by JourneyLucky
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 328化工专硕求调剂 +4 。,。,。,。i 2026-03-12 4/200 2026-03-13 14:44 by JourneyLucky
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
[考博] 2026年博士申请 +3 QwQwQW10 2026-03-11 3/150 2026-03-12 17:58 by gxch43
[考研] 085600 材料与化工 295 求调剂 +10 dream…… 2026-03-10 12/600 2026-03-12 13:46 by dream……
[考博] 读博申请 +5 感dd 2026-03-10 7/350 2026-03-11 17:02 by QGZDSYS
信息提示
请填处理意见