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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！
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嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！ 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么？有什么办法可以解决这个问题？
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物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
1楼 2013-11-14 21:04:49
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13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中，不见千里马
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you！ 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区，在磁控下，氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道，即暗装金属挡板，接高电阻回流到地。

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[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
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2楼2013-11-15 01:30:18
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13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中，不见千里马
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想法子，在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向，同时，工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快，准。

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3楼2013-11-15 01:48:18
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
罩子应该是接地的，与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的，改造一下溅射枪，如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
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何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
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嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13278830580 at 2013-11-15 01:30:18
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区，在磁控下，氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道，即暗装金属挡板，接高电阻回流到地。


...

谢谢！我们设备的罩子已经接地了，而且罩子与靶台之间有一层绝缘层隔离，你说的原因应该可以排除。不知还有其他原因吗？
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物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
5楼2013-11-15 12:18:17
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嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-11-15 08:02:39
罩子应该是接地的，与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的，改造一下溅射枪，如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材

谢谢回复！中间有绝缘层，应该不会导通，真不知怎么回事...
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物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远，物质越有智慧。
6楼2013-11-15 12:20:33
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yxin_2008

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 嗯嗯浅悟 at 2013-11-15 12:20:33
谢谢回复！中间有绝缘层，应该不会导通，真不知怎么回事......

摇表量一下是否真实接地，另外可以把屏蔽罩卸下，用砂纸磨下，再装上试试

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7楼2013-11-17 20:06:40
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zbqi_xmu

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶和屏蔽罩之间是有间隙的吧，3-5毫米左右吧
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天道酬勤
8楼2013-11-17 21:05:34
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zbqi_xmu

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么靶材和罩子中间加绝缘层呢？
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天道酬勤
9楼2013-11-17 21:08:49
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匹配器呢

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
求助  我是做磁控溅射的 由于靶启辉溅射时反射率比较高，于是调整匹配器，结构辉光没有指示针也不动了。后来给射频电源加功率 只有板压显示，没有板流显示，同时匹配器更是没有变化。想知道到底毛病出在哪？求大神指导！！！（经检查屏蔽罩与靶材没有问题，经肉眼检查传输线路没有问题）
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没有多少青春可以挥霍了！！
10楼2013-12-03 15:39:20
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