24小时热门版块排行榜    

查看: 2143  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题,请做磁控溅射的朋友指导一下! 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么?有什么办法可以解决这个问题?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远,物质越有智慧。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zbqi_xmu

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
为什么靶材和罩子中间加绝缘层呢?
天道酬勤
9楼2013-11-17 21:08:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you! 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。

[ 发自小木虫客户端 ]

[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
2楼2013-11-15 01:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
想法子,在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向,同时,工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快,准。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-15 01:48:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
罩子应该是接地的,与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的,改造一下溅射枪,如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +7 邱gl 2026-03-11 8/400 2026-03-17 09:36 by 努力学习赚彩礼
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +3 张vvvv 2026-03-15 5/250 2026-03-16 20:25 by 张vvvv
[考研] 材料与化工求调剂 +3 为学666 2026-03-16 3/150 2026-03-16 15:09 by 加号+
[考研] 309求调剂 +5 花与叶@ 2026-03-10 5/250 2026-03-16 14:13 by 哦哦123
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-16 3/150 2026-03-16 10:07 by 求调剂zz
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油!? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 材料工程327求调剂 +3 xiaohe12w 2026-03-11 3/150 2026-03-14 20:20 by ms629
[考研] 材料080500调剂求收留 +3 一颗meteor 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:54 by peike
[考研] 0805,333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] (081700)化学工程与技术-298分求调剂 +12 11啦啦啦 2026-03-11 35/1750 2026-03-13 21:25 by JourneyLucky
[考研] 281求调剂 +9 Koxui 2026-03-12 11/550 2026-03-13 20:50 by Koxui
[考研] 求b区学校调剂 +3 周56 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:20 by JourneyLucky
[考研] 310求调剂 +3 【上上签】 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:16 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +3 小匕仔汁 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:17 by vgtyfty
[考研] 0856化工原理 +6 z2839474511 2026-03-10 6/300 2026-03-13 10:41 by houyaoxu
信息提示
请填处理意见