24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2211  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题,请做磁控溅射的朋友指导一下! 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么?有什么办法可以解决这个问题?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

物质在平衡态是迟钝的。离平衡态越远,物质越有智慧。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匹配器呢

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
求助  我是做磁控溅射的 由于靶启辉溅射时反射率比较高,于是调整匹配器,结构辉光没有指示针也不动了。后来给射频电源加功率 只有板压显示,没有板流显示,同时匹配器更是没有变化。想知道到底毛病出在哪?求大神指导!!!(经检查屏蔽罩与靶材没有问题,经肉眼检查传输线路没有问题)
没有多少青春可以挥霍了!!
10楼2013-12-03 15:39:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you! 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。

[ 发自小木虫客户端 ]

[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
2楼2013-11-15 01:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
想法子,在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向,同时,工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快,准。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-15 01:48:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
罩子应该是接地的,与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的,改造一下溅射枪,如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +8 hanamiko 2026-03-27 8/400 2026-03-30 14:09 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +8 星野? 2026-03-26 8/400 2026-03-30 13:41 by chemdavid
[考研] 本科211生物医学工程085409求调剂339分 +3 里子木yy 2026-03-29 3/150 2026-03-30 13:29 by gyzj2026
[考研] 070300一志愿211,312分求调剂院校 +4 小黄鸭宝 2026-03-30 4/200 2026-03-30 11:49 by 棒棒球手
[考研] 279求调剂 +6 j的立方 2026-03-29 6/300 2026-03-30 11:46 by 松花缸1201
[考研] 生物技术与工程 +7 1294608413 2026-03-25 8/400 2026-03-30 11:36 by 唐沐儿
[考研] 南京大学化学调剂 +10 景随风 2026-03-29 15/750 2026-03-30 11:21 by limeifeng
[考研] 279求调剂 +4 蝶舞轻绕 2026-03-29 4/200 2026-03-29 09:45 by laoshidan
[硕博家园] 招收生物学/细胞生物学调剂 +4 IceGuo 2026-03-26 5/250 2026-03-29 01:25 by griffith2014
[考研] 315求调剂 +4 akie... 2026-03-28 5/250 2026-03-28 21:05 by zhq0425
[考研] 生物学学硕,一志愿湖南大学,初试成绩338 +6 YYYYYNNNNN 2026-03-26 7/350 2026-03-28 20:52 by 唐沐儿
[考研] 320分,材料与化工专业,求调剂 +9 一定上岸aaa 2026-03-27 13/650 2026-03-28 15:00 by 神马都不懂
[考研] 张芳铭-中国农业大学-环境工程专硕-298 +4 手机用户 2026-03-26 4/200 2026-03-28 07:17 by mmm just
[考研] 求调剂推荐 材料 304 +15 荷包蛋hyj 2026-03-26 15/750 2026-03-28 04:13 by fmesaito
[考研] 265求调剂11408 +3 刘小鹿lu 2026-03-27 3/150 2026-03-27 20:53 by nihaoar
[考研] 一志愿南师大0703化学 275求调剂 +4 Ripcord上岸 2026-03-27 4/200 2026-03-27 17:00 by zhyzzh
[考博] 26申博 +3 加油冲啊! 2026-03-26 3/150 2026-03-27 15:38 by cls512
[考研] 298调剂 +3 jiyingjie123 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:57 by wxiongid
[考研] 080500求调剂 +3 zzzzfan 2026-03-24 3/150 2026-03-24 16:38 by barlinike
[考研] 085404电子信息284分求调剂 +4 13659058978 2026-03-24 4/200 2026-03-24 12:15 by syl20081243
信息提示
请填处理意见