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嗯嗯浅悟

金虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射的一个问题,请做磁控溅射的朋友指导一下! 已有5人参与

溅射室靶材的罩子起辉是为什么?有什么办法可以解决这个问题?
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匹配器呢

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
求助  我是做磁控溅射的 由于靶启辉溅射时反射率比较高,于是调整匹配器,结构辉光没有指示针也不动了。后来给射频电源加功率 只有板压显示,没有板流显示,同时匹配器更是没有变化。想知道到底毛病出在哪?求大神指导!!!(经检查屏蔽罩与靶材没有问题,经肉眼检查传输线路没有问题)
没有多少青春可以挥霍了!!
10楼2013-12-03 15:39:20
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13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
leongoall: 金币+3, Thank you! 2013-11-15 03:46:26
离子溅射首先要通过氩离子从发射端进入溅射区,在磁控下,氩离子必然经过靶才的屏蔽罩。办法应该是加一级吸收管道,即暗装金属挡板,接高电阻回流到地。

[ 发自小木虫客户端 ]

[ Last edited by 13278830580 on 2013-11-15 at 01:37 ]
2楼2013-11-15 01:30:18
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13278830580

银虫 (著名写手)

身在百乐中,不见千里马


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
想法子,在投入工作前让溅射的氩离子射向工作区的反方向,同时,工作时氩离子束在磁场作用下移动的速度要快,准。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-15 01:48:18
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
罩子应该是接地的,与靶材不导通  你这是与靶材导通了 如果是自己搭建的,改造一下溅射枪,如果是你做实验出这个问题你就重新装靶材
何必看破
4楼2013-11-15 08:02:39
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