应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
111/2返回列表12下一页
查看: 4243  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Illusionist

银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-08-29 08:21:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

WeightLoser

新虫 (初入文坛)
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-09-10 17:03:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

问题是：
     如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
    1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
    2、您的匹配器有异常。
    3、你给zhoubin@e-techhk.com问问。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

Illusionist
7楼2013-10-17 16:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

sgdaiwen

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Illusionist(fbqrdzs代发): 金币+2, 鼓励交流 2013-08-29 15:14:44
Illusionist: 金币+2, ★有帮助, 现在用的是AE CESAR 136 射频发生器，负载电容无法调节！·不知道怎么回事呢··晕啊······ 2013-08-29 16:00:33
一般反射功率不超过功率的4%，太高了会损伤仪器的。一般调节功率适配器上面的调谐和耦合两个就可以降低反射功率了啊。
赞一下 回复此楼
sgdaiwen
2楼2013-08-29 15:08:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Illusionist

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:03:00
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。

O(∩_∩)O谢谢
回复此楼
4楼2013-09-10 18:20:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★有帮助, 我用自动匹配·结果反射功率很高········ 2013-09-28 08:38:13
我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH（SMITH）射频电源替换测试，他们的是自动匹配，3秒内自己会找到位置的。
     手动调节需要耐心慢慢调。
赞一下 回复此楼
5楼2013-09-27 09:16:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★★★很有帮助, 起辉了。起辉不难。·····关键是只调一个的话，反射降不下来····· 2013-09-30 10:46:25
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
6楼2013-09-30 10:39:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Illusionist

银虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by BOBOLI11 at 2013-10-17 16:41:22
问题是：
     如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
    1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
    2、您的匹配器有异常。
    3、你给zhou ...

3q
8楼2013-10-17 17:02:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxzx905

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dql52213 at 2013-09-30 10:39:54
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？

我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况
赞一下 回复此楼
9楼2014-03-25 15:54:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by wxzx905 at 2014-03-25 15:54:18
我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况...

正常情况，太高了就再调下来！
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
10楼2014-04-01 09:11:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Illusionist 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 5/250 2026-08-30 02:40 by ZPa0EcMwuECS
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 3/150 2026-08-30 02:33 by ZPa0EcMwuECS
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 3/150 2026-08-30 02:29 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 3/150 2026-08-30 02:22 by ZPa0EcMwuECS
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 6/300 2026-08-30 01:47 by ZPa0EcMwuECS
[找工作] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 6/300 2026-08-30 01:47 by ZPa0EcMwuECS
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 4/200 2026-08-30 01:45 by ZPa0EcMwuECS
[找工作] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 7/350 2026-08-30 01:14 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 jCd0dEvKHShX 2026-08-29 3/150 2026-08-29 23:14 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗？ +4 349506619 2026-08-28 4/200 2026-08-29 22:41 by alongwaytogo
[基金申请] 基金不中，共勉 +11 eulota 2026-08-26 11/550 2026-08-28 14:22 by 火星超人xi
[基金申请] 哪位高人中了，把查询到的截图贴出来让我看看，让我长长见识 +5 yuleib84 2026-08-26 6/300 2026-08-28 00:02 by yudaoqian88
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 5/250 2026-08-27 20:50 by gdfollow
[基金申请] 看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[文学芳草园] 梦想 +3 myrtle 2026-08-26 3/150 2026-08-27 10:01 by angelyueyi
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 国合现在查不到了吗？ +10 chengyan1220 2026-08-24 20/1000 2026-08-26 08:57 by peasantsprig
[基金申请] 牛来！米来！面来！ +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 明天应该可查了！？ +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭