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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
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Illusionist

银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？
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1楼 2013-08-29 08:21:50
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WeightLoser

新虫 (初入文坛)
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。
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3楼2013-09-10 17:03:00
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