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Illusionist

银虫 (正式写手)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？

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1楼 2013-08-29 08:21:50

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Illusionist

银虫 (正式写手)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:03:00
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。

O(∩_∩)O谢谢

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4楼2013-09-10 18:20:57

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Illusionist

银虫 (正式写手)

送红花一朵

引用回帖:

7楼: Originally posted by BOBOLI11 at 2013-10-17 16:41:22
问题是：
如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
2、您的匹配器有异常。
3、你给zhou ...

8楼2013-10-17 17:02:22

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