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Illusionist

银虫 (正式写手)

应助: 20 (小学生)
金币: 232.8
散金: 1001
红花: 15
帖子: 431
在线: 329.1小时
虫号: 1123329
注册: 2010-10-15
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？

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1楼 2013-08-29 08:21:50

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Illusionist

银虫 (正式写手)

送红花一朵

引用回帖:

7楼: Originally posted by BOBOLI11 at 2013-10-17 16:41:22
问题是：
如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
2、您的匹配器有异常。
3、你给zhou ...

8楼2013-10-17 17:02:22

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sgdaiwen

新虫 (小有名气)

应助: 5 (幼儿园)
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注册: 2012-04-16
性别: GG
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Illusionist(fbqrdzs代发): 金币+2, 鼓励交流 2013-08-29 15:14:44
Illusionist: 金币+2, ★有帮助, 现在用的是AE CESAR 136 射频发生器，负载电容无法调节！·不知道怎么回事呢··晕啊······ 2013-08-29 16:00:33

一般反射功率不超过功率的4%，太高了会损伤仪器的。一般调节功率适配器上面的调谐和耦合两个就可以降低反射功率了啊。