| 查看: 3789 | 回复: 10 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
Illusionist银虫 (正式写手)
|
[求助]
射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
|
|
|
溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。 输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。 调节电容，反射功率还会上升！~ 怎么回事？ |
回复此楼» 猜你喜欢
材料与化工304求B区调剂
已经有7人回复
-
0703化学336分求调剂
已经有4人回复
-
[复试调剂]西南科技大学国防/材料导师推荐
已经有6人回复
-
化学工程321分求调剂
已经有12人回复
-
211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习
已经有4人回复
-
材料专硕326求调剂
已经有5人回复
-
东南大学364求调剂
已经有5人回复
-
国自科面上基金字体
已经有7人回复
-
药学383 求调剂
已经有4人回复
-
286求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 溅射金属靶的辉光颜色问题
已经有7人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助哪可查到各种材料的相对溅射速率值
已经有4人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 求问【化学污泥】SVI过高原因……【回帖给2金币】
已经有7人回复
- 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
已经有3人回复
- 射频磁控不起辉
已经有6人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】屈强比过高的问题
已经有23人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】偏压，门电压，栅压
已经有3人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
【答案】应助回帖
|
问题是： 如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能 1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。 2、您的匹配器有异常。 3、你给zhoubin@e-techhk.com问问。 |
Illusionist7楼2013-10-17 16:41:22
sgdaiwen
新虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 65.8
- 散金: 200
- 帖子: 52
- 在线: 47小时
- 虫号: 1758281
- 注册: 2012-04-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2013-08-29 15:08:35
WeightLoser
新虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 42.3
- 散金: 5
- 红花: 1
- 帖子: 46
- 在线: 25.8小时
- 虫号: 2191541
- 注册: 2012-12-17
- 专业: 金属材料的力学行为
3楼2013-09-10 17:03:00
Illusionist
银虫 (正式写手)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 232.8
- 散金: 1001
- 红花: 15
- 帖子: 431
- 在线: 329.1小时
- 虫号: 1123329
- 注册: 2010-10-15
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2013-09-10 18:20:57
