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Illusionist银虫 (正式写手)
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[求助]
射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
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溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。 输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。 调节电容，反射功率还会上升！~ 怎么回事？ |
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【答案】应助回帖
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问题是： 如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能 1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。 2、您的匹配器有异常。 3、你给zhoubin@e-techhk.com问问。 |
Illusionist7楼2013-10-17 16:41:22
sgdaiwen
新虫 (小有名气)
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2楼2013-08-29 15:08:35
WeightLoser
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3楼2013-09-10 17:03:00
Illusionist
银虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2013-09-10 18:20:57