应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
111/2返回列表12下一页
查看: 3800  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Illusionist

银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-08-29 08:21:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

WeightLoser

新虫 (初入文坛)
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-09-10 17:03:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

问题是：
     如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
    1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
    2、您的匹配器有异常。
    3、你给zhoubin@e-techhk.com问问。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

Illusionist
7楼2013-10-17 16:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

sgdaiwen

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Illusionist(fbqrdzs代发): 金币+2, 鼓励交流 2013-08-29 15:14:44
Illusionist: 金币+2, ★有帮助, 现在用的是AE CESAR 136 射频发生器，负载电容无法调节！·不知道怎么回事呢··晕啊······ 2013-08-29 16:00:33
一般反射功率不超过功率的4%，太高了会损伤仪器的。一般调节功率适配器上面的调谐和耦合两个就可以降低反射功率了啊。
赞一下 回复此楼
sgdaiwen
2楼2013-08-29 15:08:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Illusionist

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:03:00
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。

O(∩_∩)O谢谢
回复此楼
4楼2013-09-10 18:20:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★有帮助, 我用自动匹配·结果反射功率很高········ 2013-09-28 08:38:13
我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH（SMITH）射频电源替换测试，他们的是自动匹配，3秒内自己会找到位置的。
     手动调节需要耐心慢慢调。
赞一下 回复此楼
5楼2013-09-27 09:16:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★★★很有帮助, 起辉了。起辉不难。·····关键是只调一个的话，反射降不下来····· 2013-09-30 10:46:25
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
6楼2013-09-30 10:39:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Illusionist

银虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by BOBOLI11 at 2013-10-17 16:41:22
问题是：
     如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
    1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
    2、您的匹配器有异常。
    3、你给zhou ...

3q
8楼2013-10-17 17:02:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxzx905

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dql52213 at 2013-09-30 10:39:54
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？

我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况
赞一下 回复此楼
9楼2014-03-25 15:54:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by wxzx905 at 2014-03-25 15:54:18
我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况...

正常情况，太高了就再调下来！
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
10楼2014-04-01 09:11:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Illusionist 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +5 慕寒mio 2026-03-16 5/250 2026-03-17 21:31 by hmn_wj
[考研] 070300化学319求调剂 +4 锦鲤0909 2026-03-17 4/200 2026-03-17 18:21 by 重科小霸王
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:12 by ruiyingmiao
[考研] 293求调剂 +6 世界首富 2026-03-11 6/300 2026-03-17 17:04 by ruiyingmiao
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 304求调剂 +5 素年祭语 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:00 by 我的船我的海
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +13 enenenhui 2026-03-13 14/700 2026-03-16 15:19 by 了了了了。。
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 0856求调剂 +3 刘梦微 2026-03-15 3/150 2026-03-16 10:00 by houyaoxu
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油！? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 336求调剂 +6 Iuruoh 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:06 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工085600调剂求老师收留 +9 jiaanl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 20:22 by JourneyLucky
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 295求调剂 +3 小匕仔汁 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:17 by vgtyfty
[考研] 274求调剂 +3 S.H1 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:15 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭