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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
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Illusionist

银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？
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1楼 2013-08-29 08:21:50
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

WeightLoser

新虫 (初入文坛)
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。
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3楼2013-09-10 17:03:00
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

问题是：
     如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
    1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
    2、您的匹配器有异常。
    3、你给zhoubin@e-techhk.com问问。
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Illusionist
7楼2013-10-17 16:41:22
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普通回帖

sgdaiwen

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Illusionist(fbqrdzs代发): 金币+2, 鼓励交流 2013-08-29 15:14:44
Illusionist: 金币+2, ★有帮助, 现在用的是AE CESAR 136 射频发生器，负载电容无法调节！·不知道怎么回事呢··晕啊······ 2013-08-29 16:00:33
一般反射功率不超过功率的4%，太高了会损伤仪器的。一般调节功率适配器上面的调谐和耦合两个就可以降低反射功率了啊。
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sgdaiwen
2楼2013-08-29 15:08:35
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Illusionist

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:03:00
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。

O(∩_∩)O谢谢
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4楼2013-09-10 18:20:57
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★有帮助, 我用自动匹配·结果反射功率很高········ 2013-09-28 08:38:13
我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH（SMITH）射频电源替换测试，他们的是自动匹配，3秒内自己会找到位置的。
     手动调节需要耐心慢慢调。
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5楼2013-09-27 09:16:09
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★★★很有帮助, 起辉了。起辉不难。·····关键是只调一个的话，反射降不下来····· 2013-09-30 10:46:25
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
6楼2013-09-30 10:39:54
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Illusionist

银虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by BOBOLI11 at 2013-10-17 16:41:22
问题是：
     如果自动匹配不行，手动匹配可以起辉，但是反向大于5W,说明有可能
    1、你的匹配器内电感脚选的位置不合适，腔内负载与匹配器的数据没有形成共轭。
    2、您的匹配器有异常。
    3、你给zhou ...

3q
8楼2013-10-17 17:02:22
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wxzx905

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dql52213 at 2013-09-30 10:39:54
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？

我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况
赞一下 回复此楼
9楼2014-03-25 15:54:18
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dql52213

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by wxzx905 at 2014-03-25 15:54:18
我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况...

正常情况，太高了就再调下来！
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
10楼2014-04-01 09:11:06
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