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银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？

1楼 2013-08-29 08:21:50

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

6楼: Originally posted by dql52213 at 2013-09-30 10:39:54
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？

我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况

9楼2014-03-25 15:54:18

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

10楼: Originally posted by dql52213 at 2014-04-01 09:11:06
正常情况，太高了就再调下来！...

造成这种情况的原因是什么我想问一下

11楼2014-04-02 14:27:01

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