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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
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Illusionist

银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？

溅射的是半导体薄膜，电阻4~5K欧姆。
输入100W功率，反射功率达到53W，实际功率只有47W。
调节电容，反射功率还会上升！~
怎么回事？
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1楼 2013-08-29 08:21:50
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wxzx905

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dql52213 at 2013-09-30 10:39:54
三楼说得对，如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个，应该能调下来。
另外问一下，反溅射那么高自偏压起来没？就是起辉没有？

我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况
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9楼2014-03-25 15:54:18
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Illusionist(fbqrdzs代发): 金币+2, 鼓励交流 2013-08-29 15:14:44
Illusionist: 金币+2, ★有帮助, 现在用的是AE CESAR 136 射频发生器，负载电容无法调节！·不知道怎么回事呢··晕啊······ 2013-08-29 16:00:33
一般反射功率不超过功率的4%，太高了会损伤仪器的。一般调节功率适配器上面的调谐和耦合两个就可以降低反射功率了啊。
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sgdaiwen
2楼2013-08-29 15:08:35
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WeightLoser

新虫 (初入文坛)
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。
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3楼2013-09-10 17:03:00
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Illusionist

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:03:00
需要在两个电容之间找到一个合适的关系，多调节几次，找出调节电容的变化规律。

O(∩_∩)O谢谢
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4楼2013-09-10 18:20:57
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