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Illusionist银虫 (正式写手)
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[求助]
射频溅射反射功率居高不下!怎么办?
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溅射的是半导体薄膜,电阻4~5K欧姆。 输入100W功率,反射功率达到53W,实际功率只有47W。 调节电容,反射功率还会上升!~ 怎么回事? |
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dql52213
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6楼2013-09-30 10:39:54
dql52213
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10楼2014-04-01 09:11:06







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