24小时热门版块排行榜    

查看: 3650  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

Illusionist

银虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射反射功率居高不下!怎么办?

溅射的是半导体薄膜,电阻4~5K欧姆。
输入100W功率,反射功率达到53W,实际功率只有47W。
调节电容,反射功率还会上升!~
怎么回事?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Illusionist: 金币+5, ★★★很有帮助, 起辉了。起辉不难。·····关键是只调一个的话,反射降不下来····· 2013-09-30 10:46:25
三楼说得对,如果单调一个电容调不下来的话就试试动一下另外一个,应该能调下来。
另外问一下,反溅射那么高自偏压起来没?就是起辉没有?
科学这个东西实在是。。。。。。
6楼2013-09-30 10:39:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by wxzx905 at 2014-03-25 15:54:18
我想问一下在溅射过程中反射功率会自动慢慢升高时什么情况...

正常情况,太高了就再调下来!
科学这个东西实在是。。。。。。
10楼2014-04-01 09:11:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Illusionist 的主题更新
信息提示
请填处理意见