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直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶
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| 用直流磁控溅射镀TiO2薄膜，在相同条件下，较厚的二氧化钛薄膜可以结晶，为什么较薄的二氧化钛膜无法结晶哪？ |
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奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样
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filecode
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wu1008
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你怎么判断没法结晶？ 只能说，较薄的样品，XRD，Raman等信号较弱， 而较厚的样品，信号较强，你觉得已经结晶了，其实都是结晶不好 |
cdmagprs3g2楼2012-09-24 13:01:41
10楼2012-10-17 21:07:54
11楼2012-10-17 21:10:04
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3楼2012-09-24 19:03:48
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4楼2012-09-24 19:59:13
5楼2012-09-24 20:01:23
但是我做的20分钟出现锐钛矿了，很弱的峰，我都怀疑那是不是。。 6楼2012-09-26 09:35:45
xiaomagescu
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至于这个问题，建议楼主小角度XRD再检测一番，可能已经结晶了。 如果依旧显示的是没有结晶的话，那么是不是和衬底有关系呀，因为很薄的薄膜受衬底形态的影响是很厉害的呀！！此外，还有，沉积速率的影响等等 |
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9楼2012-10-15 10:56:37
