| 查看: 1951 | 回复: 19 | ||
[求助]
直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶
|
||
| 用直流磁控溅射镀TiO2薄膜，在相同条件下，较厚的二氧化钛薄膜可以结晶，为什么较薄的二氧化钛膜无法结晶哪？ |
回复此楼» 猜你喜欢
FileCode能看出啥？
已经有15人回复
-
filecode
已经有8人回复
-
确定了，国自然21号放榜
已经有7人回复
-
帮忙看看fileCode
已经有5人回复
-
综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？
已经有11人回复
-
关于代码变化问题，想知道的进来
已经有24人回复
-
为什么网上很多人说本周 12号出结果
已经有3人回复
-
静等基金结果
已经有16人回复
-
我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人
已经有11人回复
-
关于Filecode分析方法
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 有关二氧化钛薄膜的颜色与厚度关系
已经有6人回复
- 射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
- 关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题
已经有12人回复
- 磁控溅射氮化硅薄膜？
已经有7人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 反应磁控溅射为什么不属于化学气相沉积法呢？
已经有3人回复
- 直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？
已经有4人回复
- 磁控溅射制备氮化铝薄膜
已经有7人回复
- 直流磁控溅射和射频磁控溅射的原理及区别
已经有1人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
- 直流磁控溅射电压变大
已经有6人回复
- 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
已经有10人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？
已经有32人回复
- 直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀
已经有4人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶，退火处理是否可以使其晶化？
已经有12人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
wu1008
金虫 (著名写手)
- 应助: 243 (大学生)
- 金币: 1486.4
- 散金: 176
- 红花: 14
- 帖子: 1788
- 在线: 197.6小时
- 虫号: 1859230
- 注册: 2012-06-14
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
【答案】应助回帖
★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
|
你怎么判断没法结晶？ 只能说，较薄的样品，XRD，Raman等信号较弱， 而较厚的样品，信号较强，你觉得已经结晶了，其实都是结晶不好 |
cdmagprs3g2楼2012-09-24 13:01:41
10楼2012-10-17 21:07:54
11楼2012-10-17 21:10:04
13楼2012-10-18 03:15:42
3楼2012-09-24 19:03:48
Ivan_ye
金虫 (正式写手)
- 应助: 14 (小学生)
- 金币: 1164.4
- 散金: 66
- 红花: 2
- 帖子: 798
- 在线: 50.7小时
- 虫号: 978357
- 注册: 2010-03-22
- 专业: 聚合物共混与复合材料
4楼2012-09-24 19:59:13
5楼2012-09-24 20:01:23
但是我做的20分钟出现锐钛矿了，很弱的峰，我都怀疑那是不是。。 6楼2012-09-26 09:35:45
xiaomagescu
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 17 (小学生)
- 金币: 17322.8
- 散金: 174
- 红花: 5
- 帖子: 2532
- 在线: 429.1小时
- 虫号: 1097467
- 注册: 2010-09-13
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
7楼2012-09-26 12:26:30
8楼2012-09-27 09:18:43
flash6669
木虫 (著名写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 2397.1
- 红花: 4
- 帖子: 1684
- 在线: 140.7小时
- 虫号: 461169
- 注册: 2007-11-18
- 性别: GG
- 专业: 玻璃材料
【答案】应助回帖
★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:43:24
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:43:24
|
至于这个问题，建议楼主小角度XRD再检测一番，可能已经结晶了。 如果依旧显示的是没有结晶的话，那么是不是和衬底有关系呀，因为很薄的薄膜受衬底形态的影响是很厉害的呀！！此外，还有，沉积速率的影响等等 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
9楼2012-10-15 10:56:37
