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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by flash6669 at 2012-10-15 10:56:37
至于这个问题，建议楼主小角度XRD再检测一番，可能已经结晶了。
如果依旧显示的是没有结晶的话，那么是不是和衬底有关系呀，因为很薄的薄膜受衬底形态的影响是很厉害的呀！！此外，还有，沉积速率的影响等等

能发给我关于很薄的薄膜对衬底影响的文献吗？送分哦，亲
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11楼2012-10-17 21:10:04
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
你说的较薄和较厚大概都是多厚？
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cdmagprs3g
12楼2012-10-17 22:07:09
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emilepig

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

有可能是太薄了，xrd无法测出，建议用透射电镜测量一下，我之前做的terfenol薄膜就遇到这种情况，后来就是用透射电镜测出来了
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13楼2012-10-18 03:15:42
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困意盎然

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by cdmagprs3g at 2012-10-17 21:07:54
你的衬底温度可能太低吧，我们实验室直流磁控溅射做的衬底200度，镀一个小时，大概300nm，有很好的衍射峰...

200度的2小时也没有。。什么都没有
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14楼2012-10-18 08:15:17
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-10-17 22:07:09
你说的较薄和较厚大概都是多厚？

较薄就是100nm以下，较厚是200nm以上。。。
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15楼2012-10-18 09:02:33
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1234liang

木虫 (正式写手)
呵呵这个不太懂！我没这么做过！顶下吧！
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我的课题，我做得了主吗？
16楼2012-10-18 09:29:58
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
cdmagprs3g: 金币+5, ★有帮助 2012-10-19 19:53:30
引用回帖:
15楼: Originally posted by cdmagprs3g at 2012-10-18 09:02:33
较薄就是100nm以下，较厚是200nm以上。。。...

那我认为可能主要还是太薄的原故，太薄了只有形核没有生长，晶粒不会发育的，可能还会有很大一部分是非晶。可以通过退火改善一下
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17楼2012-10-18 10:32:29
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lyq198219821

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以提高衬底温度进行溅射，也可以溅射后真空退火，不知道你的衬底是什么，如果是Si片，可以试验不同晶型的Si片，如100，111.
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18楼2012-10-31 12:04:00
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lyq198219821

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

忘了说，你是直接溅射TiO2，还是在氧气氛围下，溅射Ti？
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cdmagprs3g
19楼2012-10-31 12:05:47
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
19楼: Originally posted by lyq198219821 at 2012-10-31 12:05:47
忘了说，你是直接溅射TiO2，还是在氧气氛围下，溅射Ti？

衬底是玻璃，在氧气和氩气混合下反应溅射
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20楼2012-11-01 07:52:14
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