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直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶
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| 用直流磁控溅射镀TiO2薄膜，在相同条件下，较厚的二氧化钛薄膜可以结晶，为什么较薄的二氧化钛膜无法结晶哪？ |
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lyq198219821 
铁虫 (初入文坛)
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18楼2012-10-31 12:04:00
wu1008
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【答案】应助回帖
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zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
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你怎么判断没法结晶？ 只能说，较薄的样品，XRD，Raman等信号较弱， 而较厚的样品，信号较强，你觉得已经结晶了，其实都是结晶不好 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
cdmagprs3g2楼2012-09-24 13:01:41
3楼2012-09-24 19:03:48
Ivan_ye
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4楼2012-09-24 19:59:13