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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

[求助] 直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶

用直流磁控溅射镀TiO2薄膜，在相同条件下，较厚的二氧化钛薄膜可以结晶，为什么较薄的二氧化钛膜无法结晶哪？
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1楼 2012-09-21 12:19:36
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-09-24 13:01:41
你怎么判断没法结晶？

只能说，较薄的样品，XRD，Raman等信号较弱，
而较厚的样品，信号较强，你觉得已经结晶了，其实都是结晶不好

较薄的薄膜XRD没有衍射峰的，并且不具有光至亲水性
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3楼2012-09-24 19:03:48
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
你怎么判断没法结晶？

只能说，较薄的样品，XRD，Raman等信号较弱，
而较厚的样品，信号较强，你觉得已经结晶了，其实都是结晶不好
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cdmagprs3g
2楼2012-09-24 13:01:41
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:55
相同条件下制备的厚二氧化钛薄膜晶型检测是什么晶型，板钛矿，锐钛矿，还是金红石相？
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4楼2012-09-24 19:59:13
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Ivan_ye at 2012-09-24 19:59:13
相同条件下制备的厚二氧化钛薄膜晶型检测是什么晶型，板钛矿，锐钛矿，还是金红石相？

锐钛矿的
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5楼2012-09-24 20:01:23
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