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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

[求助] 直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶

用直流磁控溅射镀TiO2薄膜,在相同条件下,较厚的二氧化钛薄膜可以结晶,为什么较薄的二氧化钛膜无法结晶哪?
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 困意盎然 at 2012-09-26 09:35:45
楼主锐钛矿晶型溅射时间大约多久得到的?我2个小时的什么都木有。。。但是我做的20分钟出现锐钛矿了,很弱的峰,我都怀疑那是不是。。

你的衬底温度可能太低吧,我们实验室直流磁控溅射做的衬底200度,镀一个小时,大概300nm,有很好的衍射峰
10楼2012-10-17 21:07:54
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
你怎么判断没法结晶?

只能说,较薄的样品,XRD,Raman等信号较弱,
而较厚的样品,信号较强,你觉得已经结晶了,其实都是结晶不好

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-09-24 13:01:41
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-09-24 13:01:41
你怎么判断没法结晶?

只能说,较薄的样品,XRD,Raman等信号较弱,
而较厚的样品,信号较强,你觉得已经结晶了,其实都是结晶不好

较薄的薄膜XRD没有衍射峰的,并且不具有光至亲水性
3楼2012-09-24 19:03:48
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:55
相同条件下制备的厚二氧化钛薄膜晶型检测是什么晶型,板钛矿,锐钛矿,还是金红石相?
4楼2012-09-24 19:59:13
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