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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

[求助] 直流磁控溅射tio2薄膜无法结晶

用直流磁控溅射镀TiO2薄膜,在相同条件下,较厚的二氧化钛薄膜可以结晶,为什么较薄的二氧化钛膜无法结晶哪?
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xiaomagescu

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

温度可能太低了,弄个真空退火试试

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

欢迎高温腐蚀(氧化)方面的朋友
7楼2012-09-26 12:26:30
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:46
你怎么判断没法结晶?

只能说,较薄的样品,XRD,Raman等信号较弱,
而较厚的样品,信号较强,你觉得已经结晶了,其实都是结晶不好

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-09-24 13:01:41
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-09-24 13:01:41
你怎么判断没法结晶?

只能说,较薄的样品,XRD,Raman等信号较弱,
而较厚的样品,信号较强,你觉得已经结晶了,其实都是结晶不好

较薄的薄膜XRD没有衍射峰的,并且不具有光至亲水性
3楼2012-09-24 19:03:48
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-26 09:48:55
相同条件下制备的厚二氧化钛薄膜晶型检测是什么晶型,板钛矿,锐钛矿,还是金红石相?
4楼2012-09-24 19:59:13
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