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紫藤萝君

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[求助] 请问哪种溅射方法最容易靶中毒？已有1人参与

老师上课的ppt提到了直流反应溅射，但关于靶中毒讨论得比较多的是磁控溅射，那到底是哪个更容易靶中毒？

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1楼 2015-07-09 21:17:52

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【答案】应助回帖

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紫藤萝君: 金币+15, ★★★★★最佳答案 2015-07-11 09:41:44

应该是反应溅射最容易中毒，因为在靶面发生了化学反应，靶中毒了。大多反应溅射都用磁控阴极靶，因此也属于磁控溅射

[ 发自小木虫客户端 ]

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2楼2015-07-11 07:23:58

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紫藤萝君

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引用回帖:

2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-07-11 07:23:58
应该是反应溅射最容易中毒，因为在靶面发生了化学反应，靶中毒了。大多反应溅射都用磁控阴极靶，因此也属于磁控溅射

(⊙o⊙)哦原来是这样~

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3楼2015-07-11 09:40:39

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