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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 请问哪种溅射方法最容易靶中毒？
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紫藤萝君

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪种溅射方法最容易靶中毒？ 已有1人参与

老师上课的ppt提到了直流反应溅射，但关于靶中毒讨论得比较多的是磁控溅射，那到底是哪个更容易靶中毒？
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1楼 2015-07-09 21:17:52
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紫藤萝君

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-07-11 07:23:58
应该是反应溅射最容易中毒，因为在靶面发生了化学反应，靶中毒了。大多反应溅射都用磁控阴极靶，因此也属于磁控溅射

(⊙o⊙)哦 原来是这样~
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3楼2015-07-11 09:40:39
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
紫藤萝君: 金币+15, ★★★★★最佳答案 2015-07-11 09:41:44
应该是反应溅射最容易中毒，因为在靶面发生了化学反应，靶中毒了。大多反应溅射都用磁控阴极靶，因此也属于磁控溅射

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2015-07-11 07:23:58
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