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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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紫藤萝君

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪种溅射方法最容易靶中毒? 已有1人参与

老师上课的ppt提到了直流反应溅射,但关于靶中毒讨论得比较多的是磁控溅射,那到底是哪个更容易靶中毒?
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
紫藤萝君: 金币+15, ★★★★★最佳答案 2015-07-11 09:41:44
应该是反应溅射最容易中毒,因为在靶面发生了化学反应,靶中毒了。大多反应溅射都用磁控阴极靶,因此也属于磁控溅射

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-07-11 07:23:58
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紫藤萝君

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-07-11 07:23:58
应该是反应溅射最容易中毒,因为在靶面发生了化学反应,靶中毒了。大多反应溅射都用磁控阴极靶,因此也属于磁控溅射

(⊙o⊙)哦 原来是这样~
3楼2015-07-11 09:40:39
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