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如何用原子层沉积（ALD)高温固体源
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| 本人现在用苯基金属源在ALD机台沉积该金属氧化物，完全按照已发表论文配方进行沉积，源的熔点78-80 °C，沸点310度，源瓶温度设置180度，反应温度设置在280度（在文献报告的ALD窗口）内，热壁温度设置190度。现在的问题是调整几次源的温度后（在180这个温度变化十度以内），改变循环次数200到500次，没有一次镀上薄膜。有大神知道哪一个环节出了问题？ |
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